由于電力設備的絕緣體絕緣強度很高，因此其具有很高的擊穿場強。因此當電力設備的絕緣體發生局部放電時，它的擊穿過程是十分迅速的，而且將會產生上升時間小于1ns的脈沖電流，同時能夠激發出電磁波，且該電磁波的頻率為GHz數量級，這就是特高頻（UHF）電磁波。局部放電產生的特高頻電磁波的頻率大概在300MHz到3GHz之間。特高頻檢測法的基本原理就是通過使用特高頻傳感器來對電力設備中局部放電時產生的特高頻電磁波信號進行檢測。根據現場設備情況的不同，可以采用內置式特高頻傳感器和外置式特高頻傳感器，下圖為開關柜特高頻檢測法基本原理示意圖，一般使用外置式特高頻傳感器在開關柜縫隙或者觀察窗的位置進行檢測。由于現場的電暈干擾主要集中在300MHz頻段以下，因此特高頻法能有效地避開現場的電暈等干擾，具有較高的靈敏度和抗干擾能力，可實現局部放電帶電檢測、定位以及缺陷類型識別等優點。

特高頻法檢測原理示意圖