（1）直觀檢查：首先檢查氣相色譜儀系統是否有明顯的漏氣聲。在氣相色譜儀系統氣路有較大的泄漏發生時，很可能導致流量調不上去。如果聽不到漏氣聲則轉入（3）進行。

（2）查漏：聽到有漏氣聲之后，可依照聲音發出的方向而逐步定位。此時可利用皂液的涂抹進一步確定漏氣的發生處。找到原因后及時堵漏。

（3）柱前壓觀察：觀察氣相色譜儀柱前壓指示表的數值大小，可迅速判斷是氣源引起的故障，還是氣相色譜儀內部氣路堵塞及損傷造成的。

（4）鋼瓶高壓檢查：打開氣相色譜儀鋼瓶閥后，觀察高壓表指示，壓力應在1~15MPa之間。如果壓力在1MPa以下，停用該鋼瓶，換氣；如壓力值在合適的范圍內，說明鋼瓶壓力正常。

（5）減壓閥上低壓輸出檢查：調節減壓閥看鋼瓶上低壓表指示能否調到0.25~0.6MPa之間。如果正常，可懷疑氣路過濾接頭有堵塞或者是氣相色譜儀上的穩定閥有問題，此時應按照（6）來進行；如低壓值不正常，則說明減壓閥有問題，需進行（7）的修理。

（6）過濾器堵塞及穩壓閥檢查：將過濾器出口到氣相色譜儀氣源入口處的接頭緩緩旋開，觀察是否有較強的氣流從接頭處跑出。如有，則說明過濾器不堵塞，穩壓閥可能有問題。在確定穩壓閥不出氣后，可進行閥拆卸與清洗，這可能是穩壓閥內閥針與閥座間堵塞所致。

（7）減壓閥修理：在了解氣相色譜儀減壓閥的結構之后，可拆卸修理減壓閥。由于該減壓閥入口一側有高壓，因此如理經驗盡量不要盲目拆卸。有條件的，建議換用新閥；換閥時需注意到，氫氣表或氧氣表應與其它氣源表所用減壓閥分開使用，減壓閥上應標明其專用的氣源名稱。

（8）停用，換氣：在鋼瓶的壓力太小時，應立即停用、換新瓶或充氣。在過小的壓力下，不但氣源輸出不穩，而且氣源中雜質濃度將明顯加大，這對高靈敏度的分析是特別不利的。另一個要注意的問題，是鋼瓶中的余氣，特別是氫氣鋼瓶的余氣不能隨便排放。

（9）拆下柱入口氣路：將氣相色譜儀柱子入口處氣接頭拆下，觀察流量計中的轉子是否能升到上端。如果能升到上端，說明柱前氣路正常，轉入（10）作進一步檢查；如果轉子達不到上端說明氣相色譜儀柱前氣路有堵塞，需進行檢查。

（10）拆下柱出端：將氣相色譜儀柱子入口接回原氣路中后，再將柱出口側接頭拆下，此時觀察流量計中的轉子能否調到預定值。