1. 基準線：
   用以評定表面粗糙度參數的給定的線
2. 輪廓中線：
   輪廓中線是評定表面粗糙度數值的基準線
3. 取樣長度L：
   取樣長度是用于判斷和測量表面粗糙度時所規定的一段基準線長度，它在輪廓總的走向上取樣
4. 評定長度Ln：
   由于加工表面有著不同程度的不均勻性，為了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，規定在評定時所必須的一段表面長度，它包括一個或數個取樣長度
5. 行程長度Lt：
   表面測量過程中觸針沿物體表面移動的總的長度
6. 輪廓微觀不平度：
   輪廓峰與相鄰輪廓谷的組合

高度參數共有三個:

1. 輪廓算術平均偏差Ra：在取樣長度L內，輪廓偏距值的算術平均值
2. 微觀不平度十點高度Rz：在取樣長度內5個的輪廓峰高的平均值與5個的輪廓谷深的平均值之和
3. 輪廓高度Ry：在取樣長度內，輪廓峰頂線和輪廓谷底線之間的距離

間距參數共有兩個：

1. 輪廓單峰平均間距S：兩相鄰輪廓單峰的點在中線上的投影長度Si，稱為輪廓單峰間距，在取樣長度內，輪廓單峰間距的平均值，就是輪廓單峰平均間距
2. 輪廓微觀不平度的平均間距Sm：含有一個輪廓峰和相鄰輪廓谷的一段中線長度Smi，稱輪廓微觀不平間距

綜合參數

1. 輪廓支承長度率Tp：輪廓支承長度率就是輪廓支承長度ηp與取樣長度L之比