MEMS 一詞代表微機電系統。這些是一組器件，這些器件的表征可以通過它們的微小尺寸和設計模式來完成。這些的設計可以使用 1- 微米的元件來完成。這些設備可以從小型結構到非常困難的機電系統，在微電子控制下具有大量移動元件。通常，這些傳感器在一個封裝中包括機械微執行器、微結構、微電子和微傳感器。本文討論什么是MEMS傳感器、工作原理、優點及其應用。

      什么是 MEMS 傳感器？

      MEMS 是低成本、高精度，用于服務廣泛的工業應用。該傳感器采用基于芯片的技術，即微機電系統。這些傳感器用于檢測和測量壓力等外部刺激，然后通過一些機械動作對壓力做出響應，從而測量壓力。例子主要包括用于補償壓力變化的電機旋轉。

微機電芯片

      MEMS IC 制造可以使用硅來完成，從而將少量材料層放置在硅基板上，否則固定在硅基板上。之后，有選擇地固定下來，留下隔膜、橫梁、杠桿、彈簧和齒輪等微觀 3D 結構。

      MEMS 制造需要許多用于構建其他半導體電路的技術，如氧化工藝、擴散工藝、離子注入工藝、低壓化學氣相沉積工藝、濺射等。此外，這些傳感器使用微加工等特殊工藝。

      MEMS傳感器工作原理

      每當 MEMS 傳感器發生傾斜時，平衡質量就會產生電勢差。這可以像電容變化一樣進行測量。然后可以更改該信號以創建穩定的數字 4-20mA 或 VDC 輸出信號。

      這些傳感器是某些不需要精度的應用的良好解決方案，例如工業自動化、位置控制、滾動和俯仰測量以及平臺調平。

      MEMS 的類型

      市場上常見的 MEMS 傳感器類型有：

        ?MEMS ；

        ?MEMS；

        ?MEMS壓；

        ?MEMS 磁場傳感器。

      MEMS優勢

      MEMS傳感器的優點包括以下幾點：

        ?MEMS的制造就像是半導體IC制造一樣的低成本批量發明，一致性對于MEMS器件來說也是至關重要的；

        ?傳感器子組件的尺寸將在1至100微米范圍內，MEMS器件尺寸將決定20微米至毫米范圍；

        ?功耗非常低；

        ?易于合并到系統中或進行更改；

        ?熱常數小；

        ?這些可以高度抵抗沖擊、輻射和振動；

        ?更好的熱顯影耐受性；

        ?并行性。

      微機電系統的應用

      MEMS 傳感器用于不同領域，包括汽車、消費、工業、軍事、生物技術、太空探索和商業用途，包括噴墨打印機、現代汽車、消費電子產品、個人電腦中的加速度計等。

      產品：

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