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應用案例 | 體式鏡下3D影像的數碼顯示

來源:圓派科學儀器(上海)有限公司   2025年01月13日 07:26  


垂直分辨率的奧妙 —— 小付出,大回報
快速和易用是數碼顯微鏡的主要特征之一,利用數碼顯微鏡,即可輕松構建表面模型的宏觀和微觀結構。在定性評估中,這些宏微觀結構可以令用戶更好地了解樣本,并對樣本進行更詳盡地記錄。此外,表面的定量分析還將提供有關表面組分及其磨損情況的重要信息。那么,哪些樣本適用于徠卡數碼顯微鏡,而所用的檢測方法又有何限制條件呢?
徠卡數碼顯微鏡的三維成像技術基于自動變焦原理。使用光學器件的景深限定值確定樣本的深度信息。樣本相對于物鏡的垂直位移,確定了焦點信息的同時,還能夠確定其與光學器件的間距。針對每個垂直位置,將銳聚焦圖像區域與模糊區域隔開,這兩個圖像區域都經由軟件處理,以便構建表面模型。除了高度信息之外,采用該技術手段的優勢還包括,記錄樣本的結構。成功構建三維表面模型有哪些決定性影響因素,以及這些參數又是如何影響橫向和垂直分辨率的?
光學器件
在顯微鏡中,景深往往被視為一種經驗參數。實際上,它是由數值孔徑、分辨率和放大倍率之間的相關性確定的。為了得到視覺印象,現代顯微鏡的調整選項會在景深和分辨率(在理論上,這兩個參數具有負相關性)之間構成一種平衡。
在DIN/ISO標準中,樣本一側的景深被定義為“樣本平面兩側空間的軸向深度(在樣本平面中,樣本可以移動,圖像聚焦的清晰度不會受損,同時圖像平面和物鏡的位置保持不變)。”但是,上述標準并未提供任何提示,闡明如何測量焦點惡化的檢測界限值。尤其是放大倍率較低時,景深可以通過縮小鏡頭光圈(即減小數值孔徑)而顯著增加。這通常是通過孔徑光闌或孔徑光闌共軛平面上的光闌來完成的。然而,數值孔徑越小時,橫向分辨率就越低。因此,問題是找到分辨率與景深(取決于樣本結構)之間的平衡。
樣本結構
樣本表面結構包含樣本的所有部分的特性,包括表面的色彩和亮度特性。如前所述,自動變焦原理建立在有條理的方法基礎上。樣本中清晰和離焦區域劃分得越明確,表面模型的效果就越好。該方法特別適用于反差度好的結構。在很多顯微鏡應用領域,照明都占據重要地位,常常是決定成敗的關鍵所在。如果選擇的照明方式適當,即使樣本的結構非常少,亦可對其進行記錄。例如,可以選擇傾斜入射光照明方式,令隱藏的微小結構清晰可見。
垂直方向上的機械分辨
在這個等式中,第三個影響因素是垂直方向上的機械分辨率,該術語表示調焦驅動器(通常為電動) z 軸上的最小可能步距。為了充分發揮光學器件的性能,最小可能步距必須小于當前所用景深,否則,圖像數據就會丟失。例如,電動調焦驅動器分辨率為 10μm,則適當景深為 15μm。
Leica DVM 系統的橫向和垂直分辨率取決于各種不同的影響因素,例如,表面結構或照明器,因此,必須根據應用領域予以確定。利用插值法獲取一半應用景深的垂直分辨率。由所用放大倍率的數值孔徑來確定橫向分辨率。
景深 —— Berek 公式
在視感景深這個問題上,Max Berek 是發表觀點的作者,早在 1927 年他就發表了經過大量實驗得來的結果。Berek 公式給出了視覺景深的實際值,因而沿用至今。Berek 公式的簡化形式如下:


TVIS:視感景深
n:樣本位于其上的介質的折射率。如果樣本被移開,則在公式中輸入介質的折射率,該介質形成變化的工作距離。
λ:所用光的波長,對白光來說,λ = 0.55μm
NA:樣本一側的數值孔徑
MTOT VIS:顯微鏡的視覺總放大倍率
如果以上方程中,視覺總放大倍率為有效放大倍率所取代(MTOTVIS = 500-1000 x NA),則可以看出,景深的個近似值與數值孔徑的平方成反比。


照明
選擇適當的照明方式對于實現成功檢測至關重要。徠卡顯微系統的標準化設計,令您可以為所選光學器件搭配照明方式,滿足特定應用領域的需求。您可以選擇如下照明方式:
可變傾斜入射光照明

該方法可以改變照明方向:垂直-橫向。這種照明方式尤其適用于觀察劃痕或小的凹槽。

入射光下的硬幣

傾斜入射光下的硬幣

擴散片

在很多情況下,照相機的動態范圍對發光表面的照明不夠充分,因為樣本的很多區域都被過度曝光了。擴散片能夠可靠地減少曝光過度的區域。

不帶擴散片的焊點

帶擴散片的焊點

同軸照明器
同軸照明器適用于很亮或反射性很高的表面,例如,晶片或金屬型材。

同軸半導體結構


照明

偏振光
偏振光用于抑制反射或對塑性材料進行記錄。

偏振光下的塑性材料

偏振光下的發條裝置

帶直射光的同軸照明器
在這里,直射光可以構建樣本的三維效果。在很多情況下,這有助于更精確地進行表面分析。

同軸照明下的半導體結構

直射光同軸照明下的半導體結構

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