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       三坐標測量儀發展可分為三代：

       代：一臺測量機是1959年英國費蘭蒂公司研制的，當時的測量方法是在測頭接觸工件后通過踏板記錄當前坐標值，然后用計算器進行計算元素之間的位置關系。 1964年，瑞士SIP公司開始使用軟件計算兩點之間的距離，開啟了使用軟件計算測量數據的時代。 1970年代初，德國蔡司公司用計算機輔助工件坐標系代替機械對中。從此，測量機具有檢測工件基本幾何元素的尺寸和幾何公差的功能。

       第二代：隨著計算機的飛速發展，測量機技術進入數控機床時代，完成了復雜機械零件的測量和空間自由曲線曲面的測量，增加和完善了自學習功能測量模式的改進，改進了人機界面，并采用了特殊的測量語言，提高了測量程序的開發效率。

       第三代：20世紀90年代以來，隨著工業制造業向一體化、柔性化、信息化方向發展，產品設計、制造、檢測趨于一體化，對CMM作為檢測設備提出了更高的要求，提出了“三坐標”的概念。第三代坐標測量機。其特點是： 1、具有與外部設備通訊的功能； 2、與CAD系統直接對話的標準數據協議格式； 3、硬件電路趨于集成化，以電腦擴展卡的形式成為電腦的大型外接設備。

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