日本MIKASA米卡薩|顯影裝置株式會社光刻膠專用儀器設備|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司

日本Mikasa為半導體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導體制造前段工序所需要的裝置后，晶圓涂抹提供一站式服務。

日本Mikasa 半導體用設備 旋涂機

MS-B100，MS-B150，MS-B200，MS-B300，MS-B200

日本Mikasa密閉型MS-B300

密閉型MA-20，MA-10B，MA-60F，M-2LF，M-1S，AD-1200，AD-3000，ED-1200，

日本Mikasa腔室不銹鋼 轉數 0～3,000rpm電路板尺寸φ1英寸~φ12英寸（220×220mm） 聯鎖 真空吸附確認傳感器處理室蓋聯鎖吸嘴移動超限限位器化學壓力輸送壓力罐壓力進給藥液噴出噴霧噴射（擺動噴嘴類型） 電源 AC200V 3 相 15A尺寸 （mm）打開門時 720W×500H×520D910H步驟數48 步跳過和復制功能程序模式 10 種模式 重量 60㎏流程（標準） 顯影液：1系統（2個噴嘴）沖洗：1個系統（2個噴嘴）后沖洗：1個系統 主要選項 化學溫度管理系統（加壓系統）各種基板支架安裝工作臺使用的化學溶液 堿性顯影液

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勻膠機特點及如何選擇

如何選購合適的勻膠機？

2. 勻膠機使用小知識

勻膠機旋涂儀小知識

勻膠機操作說明書

使用勻膠機旋涂微流控SU-8光刻膠

勻膠機的工作原理

影響勻膠機旋涂儀性能和厚度參數

3. 勻膠機操作注意事項

勻膠機旋涂注意事項

高精度勻膠機運行過程與注意事項

勻膠機旋涂儀工作原理以及勻膠工藝常見問題

勻膠機使用注意事項及維護清洗