針對半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力分析--就選擇日本KOSAKA小坂臺階儀|塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司中國代理店

株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創立的公司，也是日本**家發表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為*具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位

ET200A配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。

傳感器（pick up）：

1.原理：直動式傳感器（業界**）

2. Z方向測定范圍：Max. 600µm

3. Z方向*小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)

4. 測定力：10uN ~500uN

5. 觸針半徑：2 µm60°鉆石針頭（另有多種可選）

6. 驅動方式：直動式

7. 再現性：1σ= 0.2nm(1um以下臺階時)

三、X 軸(基準軸/測量軸)：

1. 移動量(*大測長)：100mm(±50mm)

2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率0.1µm

5. 位置重復誤差：±5um

七、工件觀察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率

2. 綜合倍率：約320倍(使用19”monitor時)

3. 視野：1.2*0.9mm

4. 觀察方向：右側斜視

5. 照明：白色LED（可使用軟件調整明暗度）

八、軟件功能簡介：

1. 型號：i-STAR31

2. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單

3. 可設定下針座標，實現定位后自動測量及解析功能

4. 可設定低通濾波，過濾噪音及雜訊

5. 具有返回測量啟始點功能

6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可

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