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日本kashiyama柏山工業株式會社
日本柏山工業株式會社Kashiyama Industries, Ltd.，位于日本國長野縣佐久市，成立于1951年1月10日。產品包括高精密真空泵和滑雪設備。堅山干式真空泵產品廣泛應用于半導體，液晶和新能源等行業。
干式真空泵
您可以信賴的真空技術。展現**實力的多元化產品群。
Kashiyama 的產品在半導體和液晶制造等眾多現代**領域深受客戶信賴。
這種信任的基礎是我們多年來培育的真空技術。
尤其是干泵系列，已成為半導體制造工藝的標準，可以說是該真空技術的**之作，在*廣泛的應用中展現出*高的可靠性，受到了客戶的高度贊譽。困難的過程..
柏山真空技術創造的產品，不僅是干泵，還有機械增壓泵和真空泵，正在許多領域展示其威力。
主要型號
| 號*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000 *5 | SDH6000 *5 |
| *大抽速 [L/min] *2 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | ||
| 極限壓力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | |||||
| 氮氣流量[SLM] | 0 至 80 | 0 到 120 | ||||||
| 冷卻水流量[L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 |
| 消耗功率 [kW] *3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 |
| 外形尺寸 [mm] *4 | L。 | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | ||
| W. | 第285章 | 第285章 | 380 | 第420章 | 515 | |||
| H。 | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |
*1) SDX 節能/赫什工藝兼容機、SDT/SDH 耐工藝/超嚴酷工藝兼容機
*2)不使用 N2 吹掃時的值。*3) *終運行期間的大約功耗。*4) 封裝尺寸。如需詳細尺寸，請索取外部圖紙。
*5) 我們擁有一系列具有優異加工耐受性的產品，因此請聯系我們的銷售代表。
規格和型號名稱如有變更，恕不另行通知。*請聯系我們了解兼容的氣體類型。
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