原子吸收分光光度計，有火焰原子吸收分光光度計和帶石墨爐的原子吸收分光光度計。前者原子化的溫度在2100℃～2400℃之間，后者在2900℃～3000℃之間。

火焰原子吸收分光光度計，利用空氣—乙炔測定的元素可達30多種，若使用—乙炔火焰，測定的元素可達70多種。但—乙炔火焰安全性較差，應用不普遍。空氣—乙炔火焰原子吸收分光光度法，一般可檢測到PPm級（10－6），精密度1％左右。

國產的火焰原子吸收分光光度計，都可配備各種型號的氫化物發生器（屬電加熱原子化器），利用氫化物發生器，可測定砷（As）、銻（Sb）、鍺（Ge）、碲（Te）等元素。一般靈敏度在ng／ml級（10－9），相對標準偏差2％左右。汞(Hg)可用冷原子吸收法測定。

石墨爐原子吸收分光光度計，可以測定近50種元素。石墨爐法，進樣量少，靈敏度高，有的元素也可以分析到pg／ml級。