熱式空氣質量流量計利用熱擴散原理制造，熱擴散是一種可在嚴苛條件保持優良性能與穩定可靠性的新型技術，通過對流體進行加熱改變液體的溫度場，來實現流體質量的測量，可對氣體進行體量的檢測測量，并能精確測得數值。

熱式空氣質量流量計的通過傳感器進行流體的測量，傳感器由兩部分組成，一個叫速度傳感器，在工作中會被加熱至比周邊環境更高的溫度，另一個叫溫度傳感器，用來感應介質溫度變化，隨著介質流速加快，更多熱量被帶走，溫度下降，通過兩傳感器之間的溫度差以及介質流速的比例關系，測得流體流量。

熱式空氣流量計基本原理：通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的利用冷卻效應的原理，被測量氣體經過加熱元件后，溫度會發生變化，通過前后的溫度差，來對氣體流量進行測量。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。

溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

溫度傳感元件通過電流的改變借助加熱器和測量氣體的溫度差，實現對氣體溫度的檢測，氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。