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擴散硅壓力變送器的工作原理

來源:淮安市和信儀表有限公司   2012年08月17日 09:15  

主要特點

◆穩(wěn)定性高-每年優(yōu)于0.1%滿量程。

◆溫度偏移小-由于取消了測量元件中的中介液,因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度.

◆可靠性好-采用大規(guī)模IC,電路可靠性好,抗干擾性能強。

◆適用性廣-產(chǎn)品具有多種型號,多種過程連接形式,可適應工業(yè)測量中的各種介質(zhì)。

◆安裝維護簡便產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理,體積小,重量輕,可直接任意位置安裝。

工作原理

儀表通過溫度傳感器把溫度信號變?yōu)殡娦盘枺儆汕爸梅糯笃靼汛穗娦盘柗糯鬄V波,送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進行模擬量到數(shù)字量的變換。zui后由CPU進行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下:

被側(cè)介質(zhì)---〉傳感器---〉電子線路---〉輸出信號

被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴散硅膜片/上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移,正常工作狀態(tài)下,膜片zui大位移不大于0.025毫米,電子線路檢測這一位移量后,即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對應于這一壓力的標準工業(yè)測量信號。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散硅上,由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米,因此過壓時膜片的zui大位移只能是0.1毫米,所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大變形,該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。

技術(shù)參數(shù)

◆等級 0.1,0.25,0.5級

◆回 差 0.1%FS

◆溫度影響 ±0.1%/10℃

◆工作電壓 DC 13V~30V

◆年穩(wěn)定性 ±0.2%

◆信號輸出 4~20mA

◆允許過壓 量程150%

◆外型尺寸 120×60×100 max

◆zui大壓力 量程200%

◆允許溫度 介質(zhì) -20~70℃ 環(huán)境 -20~80℃

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