臭氧主要在出水水質提高后，作為再生水被回用。在進行臭氧工藝處理污水時，必須先去除濕氣、顆粒物、油霧，保證臭氧發生過程的正常運行。由于臭氧化學性質不穩定，發生后很快分解成氧氣，因此必須就地發生。由臭氧發生器產生出的臭氧經過臭氧接觸反應系統將臭氧投入到污水中并使之與污水中的有機物、細菌、金屬離子等進行化學反應及消毒生化反應過程，使臭氧得以分解。

　　臭氧具有很強的氧化能力，反應形成的自由基具有很強的氧化能力，能與污水中的其他雜質產生強烈的氧化反應。隨著溫度的升高，臭氧的分解速度加快。臭氧對非金屬材料具有強烈的腐蝕作用，在臭氧發生設備和計量設備中，不能使用普通橡膠做密封材料，必須采用耐腐蝕性能力強的硅膠或耐酸橡膠等。

      臭氧作為處理污水的一種優良殺毒劑，可以使污水快速脫色，迅速達到降低污水COD、除臭、殺菌消毒的目的，殺菌劑和滅藻劑高達百分之九十九以上，對提高污水處理廠出水及回用水水質效果明顯。

      臭氧氧化工藝不產生二次污染，操作方便，可利用空氣就地制取，以臭氧為主的處理工藝可以發揮臭氧強氧化劑和強催化劑的特點，在殺菌消毒、漂白、脫色、除臭、去味等方面取得顯著效果。

      臭氧只有達到足夠的劑量，作用一定時間才能達到消殺效果。臭氧消毒時間和消毒效果需要根據消毒用途、臭氧濃度和臭氧發生器綜合性能指數決定。臭氧在室內一般半個小時后就會自動分解為氧氣，在最初停留時間10分鐘內臭氧有持續消毒作用，30分鐘以后就不再產生持續消毒作用。