產品特點
產品應用
技術參數
半導體領域調平
ZT50N81K8壓電螺釘調平臺以其高精度、大行程及多維運動,使其非常適用于半導體領域的調平,例如晶圓調平等。
配套控制器
芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅動ZT50N81K8壓電螺釘調平臺,采用24VDC供電,4通道版本可使用切換方式驅動4支壓電螺釘,采用數字信號控制,與壓電螺釘間可通過網口連接,且體積小、易集成。
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