微納結構的柔性電子器件因其高的靈敏性、皮膚親和性、延展性、柔韌性等*的性能在生物醫學領域受到廣泛的關注。本篇報道綜述了微納米結構柔性電子的進展，闡述了柔性電子器件的微納結構、相關制備技術、在生物醫學領域的應用以及面臨的機遇與挑戰。

    微納結構柔性電子的結構

圖1. 壓力柔性電子產品的微納結構

（a）具有不同占空比的微錐結構壓力傳感器的掃描電子顯微鏡（SEM），以及占空比與靈敏度之間的關系。（b）微針結構壓力傳感器的SEM。（c）微柱結構壓力傳感器的SEM和響應壓力的電氣變化。（d）隨著距離和接觸面積的變化，施加在微圓頂結構壓力傳感器上的壓力示意圖。（e）具有多孔結構的壓力傳感器示意圖和相應的SEM圖像。

圖2.應變柔性電子器件的微/納米結構

（a）聚二甲基硅氧烷 (PDMS) 基板(i)上銀皺紋結構的SEM圖像；具有屈曲結構的可拉伸電子設備(ii)；和0%到50%應變拉伸下的波浪結構變形示意圖(iii)。（b）蛇形互連結構示意圖(i)；具有蛇形互連結構的超薄彈性體的未拉伸狀態(ii)和拉伸狀態(iii)的SEM圖像。（c）在彎曲、拉伸和扭曲下具有蛇形網狀結構的微動傳感器的照片。（d）氧化石墨烯-納米復合材料(i, ii)上兩種剪紙幾何形狀的SEM圖像，以及剪紙片(iii)的機械曲線。

圖3.微/納米結構柔性電子器件的模板方法