電容式薄膜規管的中間裝著一張金屬彈性膜片，在膜片的一側裝有一個固定電極，當膜片兩側的壓差為零時，固定電極與膜片形成一個靜態電容C₀，它與電容C₁串聯后作為測量電橋的一條橋臂，電容C₂、C₃和C₄與C₅的串聯電容組成其它三條橋臂。

    金屬彈性膜片將薄膜真空規管隔離成兩個室，分別為接被測真空系統的測量室和接高真空系統（p_b<10^-3Pa）的參考壓力室。在這兩個室的連通管道上設置一個高真空閥門7。測量時，先將閥門7打開，用高真空抽氣系統將規管內膜片兩側的空間抽至參考壓力p_b。同時調節測量電橋電路，使之平衡，即指示儀表指零。然后，關閉閥門7，測量室接通被測真空系統。當被測壓力P_l>P_b時，由于規管中的壓力差p₁-p_b，膜片發生應變引起電容C₀改變，破壞了測量電橋電路的平衡，指示儀表上亦有相應的指示。調節直流補償電源電壓對電容C₀充電，使其靜電力與壓差相等，此時，電橋電路重新達到平衡，指示儀表又重新指零。根據補償電壓的大小，就能得出被測壓力p₁，故有

    p₁-p_b=KU²          （12）

    式中p₁——被測壓力

         p_b——參考壓力

         U——補償電壓

         K——規管常數，其值K=Co/d₀,Co和d₀分別為固定電極與膜片在平衡狀態下的靜態電容和間距。

    當p₁》p₀時，測量結果就是壓力，即

    p₁=KU²          （13）

     電容式薄膜真空計測量范圍為10^-1～10¹Pa，其規管常數K可通過校準得到。

    近年來，電容式薄膜真空計取得了重大進展，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提高了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使其測量下限可達lO^-3Pa。

     單側雙電容薄膜真空計具有靈敏度高、氣體的介電常數不變、壓力讀數*不受氣體成分影響、反應速度快等特點。如將其規管參考室內加置消氣劑并抽至≤lO^-5Pa，就可測量≥lO^-3pa的壓力。