操作順序及方法

裝置自身抽真空

a)首先確認裝置全系統無壓力。若有壓力，需開啟相關閥門將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進口和出口連接起來，依次開V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側板門內）。

b)觀察進氣口壓力表M1，確定進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應先排空系統內的壓力使進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。

c)啟動真空泵電源，打開V1，對裝置自身抽真空。

d)開真空計電源，觀察真空度。

e)當真空計VM顯示達到極限真空后，依次關真空計電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關閉真空泵電源，抽真空結束。

對開關設備抽真空

a)用軟管將開關設備與裝置進口端連接起來。

b)開V2和開關設備的閥門。

c)確定進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動真空泵電源，開啟V1，對開關設備抽真空。

d)開真空計電源，觀察真空度。當真空計VM顯示達到所要求值后，依次關真空計電源，關設備閥門、V2、V1、和真空泵電源，抽真空結束。

回收儲存

a)啟動制冷機組，開V7和V9，使液化容器和儲存容器內壓力（由壓力表M4和M5指示）低于～,關V7和V9。

b)將軟管與裝置進口端連接起來。

c)開V2，確定進氣口壓力表M1在0表壓以下后，啟動真空泵電源，開V1對軟管抽真空。

d)開真空計電源，當真空機VM顯示達到極限值時，可以認為軟管內空氣已抽凈，依次關真空計電源、V1、V2和真空泵電源。

e)把軟管與開關設備連接，依次開啟V2、V5、V8、V9、壓縮機電源，調節減壓閥V61（出廠已整定，一般不需要調節）使壓縮機進氣口壓力表M2顯示小于,對容器內的SF6氣體進行回收，同時進行凈化和儲存。

f)當壓縮機進氣口壓力表M2低于或達到所要求回收終壓時，依次關開設備閥門、V2、V5、V8、V9、壓縮機電源、制冷機組電源，回收結束。

利用儲存容器內部壓力充氣

a)將軟管與裝置出口端連接起來。根據不同用途，必要時可在裝置出口端加裝減壓器。

b)對軟管抽真空（開V3、真空泵和V1，方法同上。結束時注意關閉V3、V1、真空泵、真空計、把軟管與開關設備連接）。

c)開V9，使SF6液化容器內可能存有的SF6液體流入SF6液態儲存容器，再開開關設備閥門，慢慢打開V4，向SF6開關充氣。

d)若充氣后儲存容器內的SF6氣體壓力下降與被充開關壓力趨于仍有液體存在時，可打開SF6氣化電加熱器，是液態SF6充分氣化，以提高儲存容器內SF6氣體壓力。

e)當開關設備內達到所需壓力值時，應先關閉氣化電加熱器電源，在關閉V9、V4、開關設備閥門，開關設備閥門，充氣結束。

利用壓縮機充氣

a)當儲存容器（包括SF6儲存容器和SF6液化容器）內壓力低于開關設備所需的工作壓力，且液位計已看不到液位，而開關仍需少量SF6氣體時，才能用此操作。

b)連接軟管至裝置出口端。并對軟管抽真空。

c)開啟開關設備閥門、V8、V4，然后再開V6和壓縮機電源，對開關設備充氣。

d)當開關設備內達到所需壓力值時，關V6和壓縮機電源、V8、V4、開關設備閥門充氣結束。