常見的三種真空法蘭規(guī)格(CF、KF、ISO)

1、CF 法蘭的英文名是 Conflate Flange。它是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤。

2、KF 是應用在真空系統(tǒng)中的一種快速安裝拆卸的連接方式，通常是橡膠圈密封。他由以下幾個元件構成：兩個成對稱分布的 KF 法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具，只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以松開或壓緊聯(lián)接。

3、ISO 法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空，經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過 50mm（2 英寸）。如果使用氟橡膠 O 形圈，可以承受 150℃烘烤。ISO 系列的密封圈相對于 KF 系列的真空密封圈除了有中心支架和氟橡膠材質的密封圈外，還多了一個鋁制的彈簧外圈，其主要作用是防止密封圈滑脫。他由以下幾個元件構成：兩個成對稱分布的 ISO 焊接法蘭片、定心支架+ O-Ring+鋁制外圈、雙卡箍(堅固件)。

CF,KF,NW,ISO 區(qū)別

CF 系列：CF 法蘭比較容易區(qū)分，主要是用在超高真空系統(tǒng)上的密封連接，其主要密封方式是金屬密封即銅墊片密封。需要注意的是銅墊片在使用一次后密封效果會很差，如果對真空度要求較高的系統(tǒng)，法蘭每拆卸一次，就需要更換墊片。這類法蘭有標準規(guī)格，如 CF35， 其中銅墊片也有標準件買。

KF 系列：KF 是日常真空系統(tǒng)中比較常見的密封連接方式，主要應用在高真空系統(tǒng)中。其主要密封方式是橡膠圈密封。規(guī)格從 KF10-KF50，通常情況下，KF 連接的管道尺寸是相對于英寸規(guī)格來說的。即 KF25 對應的管道是 25.4*1.65mm，依此類推(有的要求特殊管道，法蘭的焊接尺寸可以定制)。KF 最大的到 KF50（配管是 50.8*1.65mm)之后的真空連接就是 ISO系列。KF系列最為常見，一般的真空配件公司都有。

ISO 系列：ISO 也是用于高真空系統(tǒng)中的配件，最小規(guī)格是 ISO63（配管是 63.5*1.65mm）

再往后面是 ISO80、ISO100、ISO160 直至 ISO320 甚至更大規(guī)格，連接方式是雙卡頭連接, 主要是兩個 ISO 的法蘭片，中間加密封圈，然后用四個雙卡頭卡住法蘭片進行連接。要注意的是通常情況下 ISO 系列的密封圈相對于 KF 系列的真空密封圈除了有中心支架和氟橡膠材質的密封圈外，還多了一個鋁制的彈簧外圈，其主要作用是防止密封圈滑脫。因為 ISO 系列的管路尺寸相對較大，密封圈套在中心支架上面受到機臺的震動或者溫度的影響，如果沒有固定的話會滑脫，影響密封。

NW 系列:NW 同樣是用在高真空系統(tǒng)中的真空配件，是日本的規(guī)范，所以 NW 的真空配件在日企或者日本設備里面用到的相對來說多一些。前面我們說過，ISO 系列的是兩片ISO的法蘭片和四個雙卡鉤進行連接，而 NW 的鏈接方式是兩片 NW 的法蘭在一起，用鏈式卡箍進行連接（N63 的法蘭外觀上就是大一號的 NW50 的法蘭）。基本上 NW50 以下的尺寸是可以與 KF 通用的。

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作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心

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