往復(fù)式真空泵（簡稱往復(fù)泵）又名活塞式真空泵，屬于低真空取得設(shè)備之一。它與旋片式真空泵相比擬，它能被制成大抽速的泵；與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺陷是構(gòu)造復(fù)雜，體積較大，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)較大等。

　　其在很多場所可由液環(huán)式真空泵所取代。往復(fù)泵的構(gòu)造和工作原理如圖所示，主要部件有氣缸1及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞2,活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。

　　運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，經(jīng)過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不時(shí)增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而構(gòu)成抽氣過程，此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞到達(dá)右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就完整充溢了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。

　　氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐步被緊縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力到達(dá)或稍大于一個(gè)大氣壓時(shí)，排氣閥4被翻開，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又反復(fù)前一循環(huán)，如此重復(fù)下去，被抽容器內(nèi)終到達(dá)某一穩(wěn)定的均衡壓力。