低溫冷卻液循環泵的循環簡介：

內循環：通過泵對槽內液體介質的循環吞吐，增加槽內溫度的均勻性，減少溫度波動。外循環：通過泵的循環能力，利用出水口，將保溫軟管與外部設備連接，形成封閉回路，流回設備進水口，是將槽內恒溫介質外引，建立外部恒溫場

低溫冷卻液循環泵應用范圍：

對半導體制造裝置發熱部的冷卻：單晶片洗凈轉載，印刷機，自動夾座安裝裝置，噴涂裝置，離子鍍裝置，蝕刻裝置，單晶片處理裝置，切片機，包裝機，顯影劑的溫度管理，露光裝置，生磁部分的加熱裝置等。

對激光裝置發熱部分的冷卻：激光加工，熔接機的發熱部分，激光標志裝置，發生裝置，二氧化碳激光加工機等。

其他產業用機器發熱部分的冷卻：等離子熔接，自動包裝機，模具冷卻，洗凈機械，鍍金槽，精密研磨機，射出成型機，樹脂成型機的成型部分等。

分析檢測機器的發熱部分的冷卻：電子顯微鏡的光源，ICP發光分光分析裝置的光源部分，分光光度計的發熱部分，X線解析裝置的熱源，自動脈沖調幅器的發熱部分原子吸光光度計的光源等。水箱可用優質的純凈水在機內外循環冷卻，可保證對水質要求較高精密儀器的正常運行，延長精密儀器的使用壽命。