由于流體的容積受溫度、壓力等參數(shù)的影響，用容積流量表示流量大小時需給出介質(zhì)的參數(shù)。在介質(zhì)參數(shù)不斷變化的情況下，往往難以達(dá)到這一要求，而造成儀表顯示值失真。因此，質(zhì)量流量計(jì)就得到廣泛的應(yīng)用和重視。目前常用的有量熱式、角動量式、振動陀螺式、馬格努斯效應(yīng)式和科里奧利力式等質(zhì)量流量計(jì)。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，流動工質(zhì)的溫度、壓力等運(yùn)行參數(shù)不斷提高，在高溫高壓的情況下，由于材質(zhì)和結(jié)構(gòu)等方面的原因，直接式質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用遇到困難，而間接式質(zhì)量流量計(jì)由于密度計(jì)受濕度和壓力適用范圍的限制，往往也不好實(shí)際應(yīng)用。因此，在工業(yè)生產(chǎn)中廣泛采用的是溫度壓力補(bǔ)償式質(zhì)量流量計(jì)。可把它看作一種間接式質(zhì)量流量計(jì)，不是配用密度計(jì)，而是利用溫度、壓力與密度間的關(guān)系，用溫度、壓力信號經(jīng)函數(shù)運(yùn)算為密度信號，與容積流量相乘而得到質(zhì)量流量。

氣體質(zhì)量流量計(jì)一般指熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。插入式氣體質(zhì)量流量計(jì)一般采用恒溫差法對氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便、測量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。

可廣泛應(yīng)用于各種氣體的質(zhì)量流量和標(biāo)況流量測量，無需溫壓補(bǔ)償。產(chǎn)品測量方式采用恒功率設(shè)計(jì)具有測量下限極低，量程比寬，測量精度高，安裝簡便等特點(diǎn)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于壓縮空氣，瓦斯抽采，天然氣測量，曝氣測量，排放氣體監(jiān)控，過程氣體控制等眾多領(lǐng)域。

插入式氣體質(zhì)量流量計(jì)

傳感器部分由兩個基準(zhǔn)級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質(zhì)溫度T1;另一個傳感器自加熱到高于介質(zhì)溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1，當(dāng)有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，若要使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，氣體流動速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數(shù)關(guān)系，這就是恒溫差原理。      （1）

其中 — 流體比重(和密度相關(guān))

         V — 流速

         K — 平衡系數(shù)

         Q — 加熱量(和比熱及結(jié)構(gòu)相關(guān))

        ΔT — 溫度差

由于傳感器溫度比介質(zhì)(環(huán)境)溫度總是自動恒定高出30℃左右，所以熱式氣體流量計(jì)從原理上不需要溫度補(bǔ)償。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)適用介質(zhì)溫度中溫為-40-250℃。以下，中溫為-40-350℃。以下

(1) 式中流體比重和密度相關(guān)     （2）

其中 — 工況體積下的介質(zhì)密度(kg/m3)

          ρn — 標(biāo)準(zhǔn)條件下介質(zhì)密度(101.325 Kpa、20℃) (kg/m3)

           P — 工況壓力 (kPa)

           T — 工況溫度(℃)

從(1)(2)式可以看出，流速和工況壓力，氣體密度，工況溫度函數(shù)關(guān)系已確定。

恒溫差熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)不但不受溫度影響，而且不受壓力的影響，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是真正的直接式質(zhì)量流量計(jì)，用戶不必對壓力和溫度進(jìn)行修正。