光學輪廓儀主要有哪4項功能，各方面有什么優勢？

2021年12月30日 08:45

　　光學輪廓儀是一款便捷的、準確的、實用的非接觸三維形貌測量系統。作為第九代系統，它采用已申請專利的雙光源照明技術，同時實現了對超光滑表面和粗糙表面進行非接觸表征，應用范圍涵蓋了亞納米量級粗糙度測量到毫米尺度臺階高度測量，可滿足研發、磨損分析、失效分析及工藝控制等領域的需求。

　　它具有許多和大型機臺一樣的優點，包括：測量設置簡單易學，高速數據采集能力，強大的數據分析能力以及0.1納米量級的測試重復精度。

　　光學輪廓儀主要功能：

　　1、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(86°)。此功能對工件和模具測量特別有用。

　　2、薄膜測量

　　用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。S neox 在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，較小的測量點為5um。因為系統里有組合的LED光源，所以實時觀察和膜厚測量能同時進行。

　　3、共聚焦

　　共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。

　　4、干涉

　　相位差干涉 (PSI)

　　相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現縱向分辨率的大視場測量。

　　白光干涉 (VSI)

　　白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證納米級的縱向分辨率。

　　光學輪廓儀各方面優勢：

　　1、簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進行測量；

　　2、無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換；

　　3、價格優勢：市場上具性價比的白光干涉輪廓儀，具有價格優勢的高精度輪廓儀。

　　4、快速測量大面積區域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺達100mm*100mm，可實現大面積樣品的輕松測量；

　　5、可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。

　　6、可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學輪廓測量法是一種非接觸式技術，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

　　光學輪廓儀適用于各類樣品：如各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質、硬質涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量。

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