近年來，隨著科學技術的飛速發展，氦質譜法檢漏及其應用技術不斷發展和完善。 世界各地的制造商推出了各種類型的氦質譜檢漏儀，廣泛應用于航空航天、電力電子、汽車、制冷和醫藥等行業。 綜觀新型氦質譜檢漏儀的性能特點，氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統等*方向發展，這些特點滿足了檢漏應用的需要，推動了氦質譜法檢漏技術的發展。

氦質譜檢漏儀原理: 氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。 質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。 質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。 氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。

氦質譜檢漏方法是基于氦質譜檢漏儀的氦分壓測量原理。 當樣品的密封面發生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。 當泄漏氣體進入氦質譜泄漏檢測器后，由于氦質譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。 在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據氦氣儲氣庫位置與樣品的不同關系，氦質譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結了這4種氦質譜法檢漏方法的檢測原理、優缺點和檢測標準。

得到氦質譜檢漏器的主要性能指標

1.較小檢漏率: 即氦質譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應清除時間: 當一定流量的勘探氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子系統和真空系統需要一定的響應時間，漏率指示器可以達到較大值，漏率指示器不能立即恢復到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應時間。

3.啟動時間: 氦質譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間