原子吸收分光光度計主要通過汽態的原子在部分光源的照射下，能發射某些特征譜線，并且也能吸收同樣波長的譜線。在測試某種元素時，通過進樣器毛細進樣針將樣品輸送到石墨管的適合的位置，及平臺在石墨管中的位置，確保分析精度與石墨管的壽命，元素在熱解石墨爐中被加熱原子化，稱為基態原子蒸汽對空心陰極燈發射的特征輻射進行選擇性吸收。
原子吸收分光光度計一般由四大部分組成，即光源(單色銳線輻射源)、試樣原子化器、單色儀和數據處理系統(包括光電轉換器及相應的檢測裝置)。
原子化器主要有兩大類，即火焰原子化器和電熱原子化器。火焰有多種火焰，目前普遍應用的是空氣—乙炔火焰。電熱原子化器普遍應用的是石墨爐原子化器，因而原子吸收分光光度計，就有火焰原子吸收分光光度計和帶石墨爐的原子吸收分光光度計。前者原子化的溫度在2100℃～2400℃之間，后者在2900℃～3000℃之間。
火焰原子吸收分光光度計，利用空氣—乙炔測定的元素可達30多種，若使用氧化亞氮—乙炔火焰，測定的元素可達70多種。但氧化亞氮—乙炔火焰安全性較差，應用不普遍。
空氣—乙炔火焰原子吸收分光光度法，一般可檢測到PPm級(10-6)，精密度1%左右。國產的火焰原子吸收分光光度計，都可配備各種型號的氫化物發生器(屬電加熱原子化器)，利用氫化物發生器，可測定砷(As)、銻(Sb)、鍺(Ge)、碲(Te)等元素。一般靈敏度在ng/ml級(10-9)，相對標準偏差2%左右。汞(Hg)可用冷原子吸收法測定。
石墨爐原子吸收分光光度計，可以測定近50種元素。石墨爐法，進樣量少，靈敏度高，有的元素也可以分析到pg/ml級。
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