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壓電陶瓷管掃描器與光纖章動(dòng)跟蹤

來(lái)源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2018年10月08日 10:21  

壓電陶瓷管掃描器是可以XYZ三維運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷管,用于三維微掃描與定位,如AFM原子力顯微鏡等。

 

結(jié)構(gòu)形式-四區(qū)分割電極

 

 

工作方式及原理

 

壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個(gè)電極、內(nèi)壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管,當(dāng)外部施加一個(gè)正電壓到某一個(gè)區(qū)域時(shí),陶瓷管垂直方向收縮,使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾斜,同時(shí)施加電壓會(huì)使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。

電極

可選化學(xué)鍍鎳、化學(xué)鍍鎳和金。也可接受電極定制。

 

驅(qū)動(dòng)方式與位移計(jì)算

 

標(biāo)準(zhǔn)品技術(shù)參數(shù)

 

 

定制產(chǎn)品尺寸范圍

 

 

壓電陶瓷管掃描器用于光纖章動(dòng)跟蹤

壓電陶瓷管掃描器體積小巧以及掃描速度快等特點(diǎn),使其非常適于光纖章動(dòng)跟蹤。采用光纖章動(dòng)跟蹤方法,進(jìn)行空間激光到單模光纖的耦合。章動(dòng)運(yùn)動(dòng)如下圖所示。

 

 

壓電陶瓷管掃描器的外徑可小于3mm,體積非常小巧,非常便于集成。掃描范圍為幾微米甚至可達(dá)上百微米,且響應(yīng)速度可達(dá)亞毫秒,頻率達(dá)5kHz甚至更高,可滿足光纖章動(dòng)跟蹤的要求。

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