熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
1. 精度的概念：
在正常的使用條件下,儀表測量結果的準確程度叫儀表的準確度. 習慣上稱為精度。
熱式氣體質量流量計的精度為：±1%讀數 + ±0.5%滿量程
2. 直管段的影響：
直管段不足時，對測量精度有影響，不同的流阻影響的大小不同，提供流阻信息和直管段長度，可計算出偏差大小。
3. 水、水汽
所測介質中含有水或水汽，如果在探頭上結有水滴，將會造成測量值偏大。偏差大小是不可計算的。
4. 插入深度的影響  在標定時，傳感器的探頭在管道的中心線上，如果實際安裝時偏離中心線，將會造成測量值有偏差。偏差大小是不可計算的。
5. 組份變化
當所測介質組份發生變化時，將會造成測量值有偏差。提供變化后的組份，可計算出偏差大小。
6. 解決措施
對介質中含有水或水汽的測量，建議采用在水平管道的下半圓斜向上45 度角開孔的安裝方式。
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