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美國博曼BA-100鍍層測厚儀技術參數配置報告

來源:深圳市鼎極天電子有限公司   2018年08月02日 10:16  

一:美國博曼BA-100儀器介紹:

 

1:品牌:美國博曼(Bowman

 

2:儀器原理:

X射線熒光(XRF)儀器的工作原理是對被測樣品發射一束一次X射線,樣品的原子吸收X射線的能量后被激發并釋放出二次X射線。每個化學元素會釋放出特定能量的X射線。通過測量這些釋放出的二次X射線的特征能量和強度,X射線分析儀就能夠對被測材料的鍍層厚度和成份提供定性和定量的分析。

 

3:儀器原產地:儀器整機原裝美國進口,電腦與打印機國內配置。

 

4:儀器測量元素范圍:元素鈦(22)到鈾(92)

 

5:儀器分析能力鍍層:5層(4層鍍層+基材)成份:多同時測定25種

 

6:X射線管微聚焦型射線管標定功率50瓦,設計功率300瓦銅管體設計功率更高,銅管體相比不銹鋼管體散熱性能更好,壽命更長,(市場上有些采用不銹鋼管,散熱差,光管使用2年后容易出現漏油、掉電流)。

 

7:探測器類型及分辨率:采用高分辨率固態Si-PIN半導體探測器分辨率優于190eV,(搭載高分辨率的固態探測器,能量分辨率更高,測量相鄰元素更,儀器無需二次濾波器,峰位長時間保持穩定,無需頻繁地用標準片校準儀器;市場上有些老式的封氣正比計數器分辨率約900eV正比計數探測器,能量分辨率很低,因為是氣體探測器,容易受環境溫濕度影響,時常出現干擾,儀器必須經常用標準片校準且儀器開機預熱時間超長)。

 

8:儀器剛開機系統預熱時間X射線管在出廠前經過嚴格調教,且采用半導體探測器,預熱時間短,開機后5分鐘內可以開始測量。(市場上有些儀器由于采用氣態探測器,受溫濕度影響大,需要等探測器穩定后才能開始測量,預熱時間需要超過30分鐘。

 

9:X射線光程(射線管窗口離開樣品表面距離)小于2英寸博曼BA100采用了新的技術,具有更緊湊的光學結構,X射線光程短,減少射線能量損失,樣品激發效果,改善測量重復性.

 

10:濾波器4 位置一次濾波器,自由切換,博曼使用Si-PIN探測器具有足夠好的元素分辨率,無需采用二次濾波器。

 

11:準直器圓形:Φ0.1、Φ0.2、Φ0.3、Φ0.6mm可選

 

12:X射線方向:從上往下。

 

13:視頻放大倍數:30倍光學放大(50倍可選)

 

14:樣品倉:開槽式

 

15:儀器測量報告一鍵導出,并且自動保存每一個測量點的圖像,方便客戶跟蹤實際測量情況

 

16:激發電壓0-50Kv連續可調

 

17:配備標準片庫軟件標準配備標準片庫功能方便對標準樣品進行管理和維護,記錄標準片的信息、校準日期等。存儲常用元素的波譜,方便校準檔案的建立和維護。(市場上其它儀器沒有這個功能)

 

18:校準檔案建立權限開放給客戶,客戶可以根據實際情況隨意添加新的校準檔案和分析程序。

 

 

19:設備精度:

例:1:使用0.2mm準直器進行測量標準片,小測量點直徑應在0.3mm以上;

層鍍層精度(相對于標準片):

1~20uin(0.025um-0.5um)誤差為±5%~12%,20uin(0.5um)以上誤差為±5%;

第二層鍍層精度(相對于標準片):誤差為±10%;

第三層鍍層精度(相對于標準片):誤差為±15%;

2:機器測量厚度范圍為:(層厚度 x 10 + 第二層厚度) < 800 uinch微英寸(20um微米) ;超出此范圍測量精度不在保障內。

 

20:質保期:儀器整機保修12個月,標準片易耗品不在保修范圍內;儀器保修期內,使用儀器期間出現問題,我司收到通知后2個小時內,指導解決,如無法解決,12個工作小時內我司工程師上門服務;非正常操作所引起故障,如雷擊、人為損壞,自然災害等,均不在保修范圍內。(如有特殊要求,可延長保修期)。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

二:以下是美國博曼半自動臺與全自動臺參數對比:


 

 

 

 

 

 

 

三:裝機配件清單:

例:BA-100-P-MVM設備裝機配件清單》

序號

配件名稱

品牌/型號

單位

數量

備注

1

博曼Bowman BA-100測量主機

博曼/BA-100

1

 

2

50瓦鎢靶微聚焦X射線管

博曼

1

 

3

高分辨率硅PIN探測器

博曼

1

 

4

開槽式自動XY樣品臺              (行程范圍152x127mm(如選用SFF這項是開槽式固定臺)

博曼

1

 

5

MVM多準直器組件:          0.1mm、0.2mm、03mm、0.6mm(如選用SFF這項只有0.2mm

博曼

1

 

6

30X光學放大鏡頭

博曼

1

 

7

可調節亮度LED樣品照明

博曼

1

 

8

樣品艙門安全互鎖及Z軸防碰撞機構

博曼

1

 

9

可變焦距,,雷射聚焦組件如選用SFF這項是固定焦距,無法變焦

博曼

1

 

10

可容納樣品高度為5.5英寸(14厘米)Z軸行程132mm

博曼

1

 

11

基于FP的膜厚測量軟件,內置元素標樣數據庫

博曼

1

 

12

4位置自動切換一次濾波器用于優化信噪比

博曼

1

 

13

聯想(Lenovo)商用臺式電腦一臺

聯想

1

 

14

操作系統 WINDOWS平臺

微軟/Win10 簡體中文版

1

 

15

 聯想19.5英寸顯示器

聯想

1

 

16

能量校準片

博曼

1

 

17

銀標準片

Ag 80uinch(2.0um)

1

 

18

鎳標準片

Ni 80 uinch(2.0um)

1

 

19

鎳標準片

Ni160uinch(4.0um)

1

 

20

金標準片)

Au 2 uinch(0.05um

1

 

21

鈀標準片

Pd 4 uinch(0.1um)

1

 

22

無限厚元素片 Ag、Ni、Au、Pd、Cu、Fe

純元素片

6

 

23

美國博曼 BA100操作指南

博曼

1

 

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