潔凈度等級標準

來源：廈門瑞迪儀器儀表商城 2010年03月01日 12:33

ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個*指標來劃分潔凈室（區）及相關受控環境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。

根據粒子徑，可以劃分為常規粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空氣潔凈度分級標準： ISO14644-1 （標準）

空氣潔凈度等級（N）	大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
空氣潔凈度等級（N）	0.1 um	0.2 um	0.3 um	0.5um	1um	5 um
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000
注：由于涉及測量過程的不確定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。

空氣潔凈度分級標準： GB/T16292-1996 （中國標準）

美國聯邦標準 209D 潔凈室分級：（已停用）

空氣潔凈度等級（N）	大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
空氣潔凈度等級（N）	0.1 um	0.2 um	0.3 um	0.5um	5 um
1	35	7.5	3	1
10	350	75	30	10
100		750	300	100
1000				1000	7
10000				10000	70
100000				10000	700

英國 5295 標準潔凈室和空氣凈化裝置分級：

空氣潔凈度等級（N）	大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）
空氣潔凈度等級（N）	0.3um	0.5um	5um	10um	25 um
C	100	35	0
D	1000	350	0
E	10000	3500	0
F		3500	0
G	100000	35000	200	0
H		35000	200	0
J		350000	2000	450	0
K		3500000	20000	4500	500
L			200000	45000	5000
M				450000	50000

各種標準的比較：

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