方塊電阻測(cè)試儀可靠性研究

來(lái)源：廣州市盈翔嘉儀器儀表有限公司 2014年10月20日 11:48

方塊電阻測(cè)試儀可靠性研究

隨著濺射技術(shù)、靶材技術(shù)的發(fā)展深入和成熟，使以氧化銦錫透明導(dǎo)電玻璃（ITO玻璃）為代表的導(dǎo)電薄膜材料的制造和應(yīng)用越來(lái)越廣泛。ITO玻璃目前是與液晶顯示等平面顯示技術(shù)配套的關(guān)鍵組件。從1987年起至今，ITO玻璃的制造在國(guó)內(nèi)已有二十年的歷史。產(chǎn)品已廣泛用于電子手表、計(jì)算器、游戲機(jī)、、電腦顯示器、平面電視等消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品，以及各種光電儀器設(shè)備和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的透明導(dǎo)電電極等。現(xiàn)在，國(guó)內(nèi)已有ITO玻璃生產(chǎn)企業(yè)的單位年生產(chǎn)能力由60萬(wàn)片提高到了2000萬(wàn)片。產(chǎn)品也從TN型ITO玻璃，延伸到STN型、觸摸屏、彩色濾光片眾多品種。

面對(duì)越來(lái)越大量的導(dǎo)電薄膜材料的生產(chǎn)制造，如何保證產(chǎn)品的質(zhì)量？除了要求生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)線穩(wěn)定性不斷提高，檢測(cè)技術(shù)在此也提供了強(qiáng)有力的支撐作用。

ITO玻璃的產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)包括以下幾個(gè)方面：尺寸、面電阻、蝕刻性能、ITO膜層耐堿性、光電性能和可靠性等。除尺寸方面的檢測(cè)僅與玻璃原片有關(guān)外，其余幾個(gè)方面都與ITO玻璃生產(chǎn)的工藝過(guò)程有關(guān)。由于國(guó)內(nèi)大多數(shù)ITO玻璃生產(chǎn)企業(yè)自己不生產(chǎn)玻璃原片，所以，與生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)的ITO玻璃產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)就是：面電阻、蝕刻性能、ITO膜層耐堿性、光電性能和可靠性等。

實(shí)際上，在ITO玻璃的生產(chǎn)過(guò)程中，檢測(cè)zui多的參數(shù)是ITO玻璃的面電阻。根據(jù)在不同崗位的檢測(cè)需要，生產(chǎn)企業(yè)分別使用手提式和臺(tái)式兩種面電阻測(cè)量?jī)x。而手提式面電阻測(cè)量?jī)x相對(duì)使用較多。

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