氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）Mass gas flow controller（meter）縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON^®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì)量。

49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)

入口和出口氣路接頭

可以根據(jù)用戶(hù)的不同需求，選用兩種類(lèi)型：

1. 雙卡套（Swagelok）；a.Φ6mm; b.Φ3; c. 1/4″;d.或其他。

2. VCR. a. Φ1/4″;b. Φ3/8″

零點(diǎn)的調(diào)節(jié)

在使用的過(guò)程當(dāng)中，有可能發(fā)生零點(diǎn)偏移，可進(jìn)行零點(diǎn)偏移的調(diào)節(jié)。

零點(diǎn)的調(diào)節(jié)可以?xún)煞N方式進(jìn)行調(diào)節(jié)：

a.在流量顯示儀儀表盤(pán)上的調(diào)零或其他外部調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié)，叫做外調(diào)零。

b. 一種可以從流量控制器上的調(diào)零孔進(jìn)行調(diào)節(jié)，叫做內(nèi)調(diào)零。

調(diào)零孔的位置在流量控制器上側(cè)面的小孔，內(nèi)有調(diào)零電位器。

注意：

◆調(diào)零時(shí)，流量控制器中不得有氣流流動(dòng)，應(yīng)將閥控開(kāi)關(guān)打在“關(guān)閉”位置；

◆調(diào)零必須在開(kāi)機(jī)預(yù)熱15 分鐘以后進(jìn)行，以待流量計(jì)零點(diǎn)的穩(wěn)定；

◆除調(diào)零電位器外，不得輕易調(diào)整其它電位器。

 注意事項(xiàng)

工作介質(zhì)

本產(chǎn)品切忌液體和油污，不能使用在液體介質(zhì)中工作，只能使用在氣體工作介質(zhì)中。

氣體必須是潔凈、干燥的，沒(méi)有微粒和潮氣。否則，須在氣路中加裝過(guò)濾器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的氣路潔凈，一旦被污染，將嚴(yán)重影響產(chǎn)品的準(zhǔn)確度。

耐壓和工作壓差

超出控制器指標(biāo)指標(biāo)規(guī)定的過(guò)高的壓力，會(huì)導(dǎo)致泄漏乃至爆裂的嚴(yán)重后果。

須保持控制器進(jìn)出氣口兩端的工作壓差，保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)，否則，可能會(huì)導(dǎo)致控制測(cè)量不準(zhǔn)確，乃至失靈。在過(guò)高的氣壓差下，可能會(huì)導(dǎo)致實(shí)際氣流偏大或閥無(wú)法關(guān)閉。在過(guò)低的氣壓差下，可能會(huì)導(dǎo)致實(shí)際氣流偏小。

要注意管路和氣源內(nèi)阻對(duì)工作壓差的影響，在使用大流量的質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))尤其注意管路粗細(xì)是否合適以及保證氣源。

管路連接時(shí)，注意不要導(dǎo)致氣路污染及不通暢，連接應(yīng)密實(shí)，無(wú)漏氣。