潔凈室的定義：將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的房間。
由以上之定義，我們可知構(gòu)成潔凈室須俱備以下各項因素：

1 .能除去空氣中飄游之微塵粒子。
　　2 .能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
　　3 .溫度和濕度之控制。
　　4 .壓力之調(diào)節(jié)。
　　5 .有害氣體之排除。
　　6 .結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
　　7 .靜電之防制。
　　8 .電磁干擾之預防。
　　9 .安全因素之考慮。
　　10.節(jié)能之考量。

潔凈室內(nèi)空氣壓力大于回風靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性

吳江市偉峰凈化設(shè)備有限公司FFU在使用壽命及維護上已經(jīng)實踐證明無可擔心。當前其改進主要是：
（1）取均流及減少噪音的措施，噪音可在52db以內(nèi)；
（2）動機采用DC/EC（電子整流電機），以耗較原交流電機節(jié)約近50%，因為小風機所用小容量（功率<1P）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機的效率可達75%～80%；在調(diào)速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。
（3）但FFU出口靜壓不能過大，一般采用出口風速0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。

FFU回風系統(tǒng)與其他方式相比的優(yōu)點
優(yōu)點：
（1）靈活性大，便于改造；                                                        （2）占用建筑物空間較少；
（3）潔凈凈室內(nèi)空氣壓力大于回風靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。

缺點：
（1）要求回風道全部阻力（包括多孔地板、格柵及風道）、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力（在初阻力時），總共應(yīng)控制在165Pa左右，以滿足運行時zui大阻力在250Pa以內(nèi)。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風道阻力在15Pa以內(nèi)，否則就需要再增設(shè)加壓風機系統(tǒng)，這就是降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點。
 （2）采用DC/EC電機后，單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統(tǒng)為低，但已有研究指出，比采用改進后的大型軸流風機的回風系統(tǒng)的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統(tǒng)的阻力降低的因素。
 （3）一般FFU系統(tǒng)由于單位風量的能耗較大，因此潔凈室的冷負荷亦相應(yīng)增加。

具體情況下的評價

（1）FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。
 （2）潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經(jīng)濟的；對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
 （3）對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠而言，FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。