觸針法

利用針尖曲率半徑為 2微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉換為電信號，經放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀（簡稱輪廓儀），這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術平均偏差Rα，微觀不平度十點高度RZ，輪廓大高度Ry和其他多種評定參數，測量效率高，適用于測量Rα為0.025～6.3微米的表面粗糙度。

光切法

光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數鼓輪，先讀出h值，計算后得到H 值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量RZ和Ry為0.8～100微米的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率低。

干涉法

利用光波干涉原理 （見平晶、激光測長技術）將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高 （可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025～0.8微米的表面粗糙度。（end）