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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

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  • 產(chǎn)品數(shù)量175
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  日立*集團(tuán)的企業(yè)理念是“以成為先端技術(shù)領(lǐng)域里提供高科技解決方案的*為目標(biāo)”。在這個(gè)理念的指引下,將電子裝置系統(tǒng)、生命科學(xué)系統(tǒng)、信息電子系統(tǒng)、*產(chǎn)業(yè)材料系統(tǒng)等各個(gè)事業(yè)部門的“先端技術(shù)”推向世界的Z前線。
 
  為了應(yīng)對日新月異的技術(shù)革新和需求的多樣化,達(dá)成事業(yè)的化,日立*集團(tuán)同時(shí)具有用先端技術(shù)開發(fā)制造新產(chǎn)品的制造功能和向提供優(yōu)化解決方案的貿(mào)易公司機(jī)能,是一家在先端科技領(lǐng)域里向*更快、更好地提供產(chǎn)品和服務(wù)的性企業(yè)。
 
  日立*集團(tuán)Z重視的是在中國地區(qū)的事業(yè)戰(zhàn)略。我們在上海、北京、深圳、香港設(shè)立了獨(dú)資公司,這些地方分公司在中國的11個(gè)地區(qū)設(shè)有銷售和技術(shù)服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)。同時(shí)在蘇州和大連還設(shè)有生產(chǎn)基地。日立*集團(tuán)不但支持中國電子產(chǎn)業(yè)和高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的半導(dǎo)體制造,而且提供各種解析設(shè)備,LCD制造和檢查設(shè)備,芯片貼裝設(shè)備等。在保障人民安全和健康的科學(xué)醫(yī)療領(lǐng)域,還提供各種解析、分析儀器及應(yīng)用相關(guān)系統(tǒng)等*開發(fā)產(chǎn)品和相應(yīng)的優(yōu)質(zhì)且完善的售后服務(wù)。此外,日立*集團(tuán)從中國各地向*提供支持電子、高科技、汽車產(chǎn)業(yè)、環(huán)境和節(jié)能技術(shù)的各種新功能材料的采購解決方案,通過靈活利用網(wǎng)絡(luò)和其貿(mào)易公司功能,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)造附加價(jià)值的事業(yè)模式。
 
  日立*中國實(shí)業(yè)集團(tuán)作為被大家所信賴的企業(yè),在遵紀(jì)守法的同時(shí),力爭創(chuàng)造新的價(jià)值,以“客戶*位為根本”開展工作,探求持續(xù)性發(fā)展,通過營銷活動(dòng)為中國的高科技產(chǎn)業(yè)、環(huán)境及能源事業(yè)、社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施的安全、人民健康等方面的發(fā)展,不斷地做著積極的貢獻(xiàn)。衷心希望今后也能夠繼續(xù)得到大家的支持和厚愛。
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隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,電子顯微鏡進(jìn)入了一個(gè)不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量,而且重視其采集過程的時(shí)代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù),同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列 產(chǎn)品詳情

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,電子顯微鏡進(jìn)入了一個(gè)不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量,而且重視其采集過程的時(shí)代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù),同時(shí)還大大提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。

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設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

特點(diǎn)

特點(diǎn)

超高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。

0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實(shí)例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,顆粒表面細(xì)微的臺(tái)階結(jié)構(gòu)清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。

樣品提供:日本工業(yè)技術(shù)綜合研究所 上村 佳大 先生

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。


3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)

快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時(shí)間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.


5納米制程SRAM的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察 (加速電壓:30kV,掃描時(shí)間<1秒)

*的自動(dòng)化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

1,2,4 或6通道信號可在同一個(gè)顯示器上同時(shí)顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)。可以通過使用兩個(gè)顯示器來擴(kuò)展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。

規(guī)格

機(jī)型SU8600 系列
電子光學(xué)系統(tǒng) 二次電子像分辨率 0.6 nm@15 kV
0.7 nm@1 kV *
放大倍率 20 to 2,000,000 x
電子槍 冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。
加速電壓 0.5 to 30 kV
著陸電壓 0.01 to 20 kV
探測器 (部分為選配項(xiàng)) 上探測器(UD)
UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能
下探測器(LD)
頂探測器(TD)
TD能量過濾器
鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD)
半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED)
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
陰極熒光探測器(CLD)
掃描透射探測器(STEM Detector)
附件 (部分為選配項(xiàng)) 導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
軟件 (部分為選配項(xiàng)) EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素)
樣品臺(tái) 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(X/Y/R/Z/T)
馬達(dá)驅(qū)動(dòng)軸 X:0~110 mm
Y:0~110 mm
Z:1.5~40 mm
T:-5~70°
R:360°
樣品室 樣品尺寸 直徑:150 mm
*
減速模式下

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  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
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