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無機質譜儀，主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面，它與有機質譜儀工作原理不同的是物質離子化的方式不一樣：無機質譜儀是以電感耦合高頻放電（ICP）或其他的方式使被測物質離子化。無機質譜儀可以分為火花源質譜儀、離子探針質譜儀、激光探針質譜儀、輝光放電質譜儀、電感耦合等離子體質譜儀。無機質譜儀測試速度快，結果精確。無機質譜儀廣泛用于地質學、礦物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術工作等特種分析方面。