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臭氧(O3)+生物活性炭法主要過程是：先往水中投加臭氧，其強氧化性使復雜有機物分子斷鏈成小分子，從而易于生物降解，同時提高了水中溶解氧濃度。然后再進入生物活性炭裝置，易降解有機物被活性炭富集，經好氧微生物氧化分解為CO2和H2O等。該工藝的特點是臭氧預處理提高了廢水的可生化性，有機物的富集和富氧提高了生化反應速度;活性炭上的有機物生物降解又可恢復活性炭吸附性能。

臭氧(O3)+混凝法基于臭氧(O3)對親水性物質強烈的破壞力，當親水性物質轉變成疏水性時，混凝沉淀效果將大大改善。

臭氧(O3)+活性炭吸附法是指：由于活性炭微孔孔隙小，限制了對大分子物質的吸附，臭氧(O3)可破壞物質分子結構，形成小分子，增大活性炭吸附容量。

臭氧(O3)+活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高廢水的可生化性。

臭氧(O3)+膜處理法，臭氧(O3)常用在超濾(UF)的后處理上。

臭氧單元處理主要是催化氧化法，如堿催化氧化、光催化氧化和多相催化氧化等，具體處理方法有：①臭氧(O3)/H2O2，②臭氧(O3)/UV(紫外光)，③臭氧(O3)/固體催化劑(金屬及其氧化物，活性炭等)。從反應機理看：①屬于堿催化臭氧化，②屬于光催化臭氧化，③屬于多相催化臭氧化。

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