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一種電子工業(yè)含氟含氨氮廢水處理用反滲透膜裝置的清洗方法

　　背景技術(shù)

　　隨著電子工業(yè)技術(shù)特別是集成電路芯片工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，電子工業(yè)廢水特別是電子工業(yè)含氟含氨氮廢水處理成為水處理行業(yè)中的突出難題。電子工業(yè)通常在生產(chǎn)制程中使用了如氫fu酸、硫酸、磷酸、氨水、鹽酸、有機溶劑等大量的化學藥劑，使得排放的廢水含有大量的對周邊環(huán)境有污染的成分，加劇了我們水污染和水資源短缺形勢的嚴峻程度。

　　電子工業(yè)含氟含氨氮廢水具有水量大，污染成分復雜，污染性強，可生化性差，總?cè)芙夤腆w鹽(TDS)、氨氮和氟化物含量高等特點。電子企業(yè)(集成電路芯片企業(yè))目前對這種類型的廢水沒有成熟有效的處理方法，一般情況下在經(jīng)過簡單的除氟處理后，只能排入城市污水處理廠集中處理。由于該類廢水可生化性差(BOD/COD<0.1)，且由于城市污水處理廠工藝技術(shù)的局限性，出水中總氮往往不達標，容易導致排放水體的富營養(yǎng)化，特別是對某些特定污染物(比如氟)不能有效去除而只能靠稀釋降低濃度。面臨日趨嚴重的生態(tài)環(huán)境，國家要求工業(yè)企業(yè)必須貫徹“節(jié)能減排”的方針政策，在對工業(yè)企業(yè)用水大戶的環(huán)評批復中除了要求廢水達標排放外，也明確要求廢水必須達到一定的回用率，常規(guī)的處理方法已經(jīng)不能有效地減少污染物的排放更不可能實現(xiàn)通過廢水再生回用來有效減少廢水的排放量，實現(xiàn)循環(huán)經(jīng)濟。因此，必須在廢水處理過程中改進處理工藝，Z大限度減少污染物的排放量，減輕對周邊環(huán)境的污染，同時提高廢水的再生回用率，節(jié)約寶貴的水資源。

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 反滲透膜技術(shù)在電子工業(yè)含氟含氨氮廢水處理方面具有廣泛的應用，反滲透膜技術(shù)中使用的反滲透膜裝置通常包括*段反滲透膜單元和與*段反滲透膜單元的濃水出口相連的第二段反滲透膜單元，反滲透膜裝置在使用后經(jīng)常需要清洗，現(xiàn)有技術(shù)中的清洗方法常常是先用酸性清洗液清洗*遍，然后用堿性清洗液清洗第二遍。具體為：*遍是將酸性清洗液從*段反滲透膜的進水口通入，酸性清洗液將*段反滲透膜清洗后流至第二段反滲透膜，清洗第二段反滲透膜，洗后的酸性清洗液從第二段反滲透膜排出或通入*段反滲透膜重復清洗;第二遍是將堿性清洗液從*段反滲透膜的進水口通入，堿性清洗液將*段反滲透膜清洗后流至第二段反滲透膜，清洗第二段反滲透膜，洗后的堿性清洗液從第二段反滲透膜排出或通入*段反滲透膜重復清洗。

 現(xiàn)有的這種清洗方法適用于純水及超純水制造工藝中水源較為干凈，對膜的污染較小的反滲透系統(tǒng)，而用于以污水為水源的反滲透系統(tǒng)則因為污水中的污染物復雜及濃度較高而存在一些不足：一是缺少針對性需要花費的時間較長(視污染程度不同，約需12～24小時才能實現(xiàn)一定程度的清洗;二是，污染程度較高的情況下，第二段反滲透膜通常不能得到有效的清洗，某些情況下甚至出現(xiàn)清洗后污染加劇的情形;三是，需要花費大量清洗液，清洗成本較高，同時也增加了清洗廢水的排放。