激光功率能量計/熱電堆探頭說明
:方小姐
常用到激光能量計,用來探測重復脈沖激光的單發能量和單脈沖激光的能量。Ophir 的熱電堆型激光功率計通過熱電堆結構將光能轉換成熱量,再轉換為電信號輸出,通過校準來**測量激光功率的大小。激光功率計一般由探頭和顯示設備組成,激光功率計探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型(thermal)、光電二極管型(PD:Photodiode)、以及包含兩種傳感器的綜合探頭(RP),激光能量計則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆(Thermal)傳感器探頭。
| | sensor類型 | 備注 | 適用范圍 |
功率傳感器 | 1 | 熱電堆激光功率傳感器 | 測功率 | 1/n·mW~ n·Kw |
測單脈沖激光能量() | f≤0.2HZ |
2 | 熱電堆激光功率、位置、光斑大小傳感器 | 定中心、光束定位、路徑跟蹤以及功率和單脈沖能量測試 | |
3 | 光電二極管激光功率傳感器 | | 1pW--n·100mW--3W(filter) |
能量傳感器 | 4 | 熱釋電激光能量傳感器 | 耐用性比熱電堆型差,不使用時需移除激光照射 | f≤25KHZ |
熱電堆型激光功率計表面吸收材料種類較多,對應不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾值。典型的有:
表面吸收結構探頭:
-BB寬光譜吸收材料,此寬光譜吸收材料的鍍層損傷域值可達20KW/cm;吸收率大約90%,從紫外到紅外的曲線平滑;
-EX (Excimer lasers) 準分子激光專用吸收材料,對于紫外光有高吸收率,可以承受高能量或高平均功率的準分子激光,同時對10.6um和其他波長也有很好的響應,-EX*大平均功率強度約2KW/cm。
-LP長脈沖吸收材料,對于豪秒量級長脈沖或是連續波激光有很高的損傷域值,在1064nm和10.6μm處做過校準,-LP*大平均功率強度約10KW/cm, -LP1*大平均功率強度約20KW/cm。
體吸收結構探頭:
-P短脈沖式吸收材料,應用于短脈沖激光的探頭,*大平均功率強度50W/cm。對于脈沖激光,吸收材料表面有大約95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃。
-HE/-HE1高能量脈沖激光吸收材料,-HE*大平均功率強度500W/cm。對于短脈沖/高平均功率激光都有高的損傷域值。
-HL高能量長脈沖吸收材料,用于脈寬大于2ms的高能量,高平均功率的激光
-PF/-SV 作為-P探頭的擴展,能承受更高的平均功率和平均功率密度,-PF(3KW/cm),-SV(60KW/cm)。
