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當前位置:山東利達信儀器儀表設備有限公司>>公司動態>>橢圓測厚儀 LDX-SGC-1A
橢圓偏振測厚儀 橢圓測厚儀 型號:LDX-SGC-1A
技術指標:
編號
名稱
參數
1
測量范圍
1nm-300nm
2
測量Z小值
≤1nm
3
入射角
30°~90°誤差≤0.1°
4
偏振器方位角讀數范圍
0°~180°
5
度盤刻度
每格2度
6
游標Z小讀數
0.05°
7
光學中心高度
152mm
8
工作臺直徑
φ70mm
9
外形尺寸
730mm×230mm×290mm
10
主機重量
20kg
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