高精度的流量測量和控制是半導體組件制造的關鍵，科邁捷流量計因具有量程范圍寬、測量精度高、抗干擾能力強等多種優點，成為工業氣體流量測量的理想選擇。本文分享的是科邁捷流量計在半導體行業應用的案例。

國內一家大型半導體制造商，半導體制造過程中涉及大量的加工技術，因此對于壓縮空氣的用量要求十分嚴苛。工廠的壓縮空氣系統由1臺離心壓縮機、5臺螺桿壓縮機、若干臺緩沖罐及干燥機和過濾器組成。該工廠通過企業成本核算發現，工廠車間每天消耗大量的壓縮空氣，占其總能耗的20-30%，這個消耗量**同行業用氣量的平均水平。

該工廠的工程師對過高的用氣消耗展開調查和深入的系統測試后，將注意力集中到了安裝在輸送管網上的流量計上。輸氣管道暴露在工業振動環境設備中，與流量計連接的振動管道會嚴重干擾流量傳感器，導致流量測量不準確，并且在無流量時仍然顯示有流量測量。

科邁捷技術人員了解到客戶的訴求之后，認為采用VFM60MV渦街流量計能**滿足測量精度需求。根據現場工況，需要流量計具備高精度、抗干擾的高性能流量計，科邁捷VFM60MV具有**的雙探頭抗振結構結合**保護的數字信號處理技術，能夠從噪聲中提取有用信號準確穩定測量，在保持工況流量測量精度為±1.0%RD的情況下，測量下限達2m/s，成為工廠壓縮空氣流量測量的優選。

科邁捷技術人員將VFM60MV渦街流量計分別安裝于空壓站內部以及車間內輸送的主管道上，以此來計量空壓機主管出氣量以及各車間用氣量。VFM60MV渦街流量計運行穩定，計量數據精準可靠，客戶所關心的測量精度以及穩定性等問題**解決。

該客戶于2019年底順利采購VFM60MV渦街流量計共計35臺，截至今日所有流量計運行穩定，測量效果穩定可靠，不僅為工廠提供高精度的壓縮空氣流量測量，為提升空氣壓縮機能效、降低企業成本提供精準數據支撐，同時科邁捷的遠程診斷功能為客戶提供了強有力的技術支持。

案例背景

該工廠在半導體組件的生產過程中，除了在壓縮空氣的使用中需要精確的測量，對氮氣的使用也是如此。氮氣具有可用性和惰性，它是半導體制造過程的各工藝中使用的核心氣體，高純氮氣能夠對半導體組件進行氣氛保護與清洗，保證半導體與集成電路的質量，不僅能夠提高生產效率，還有效提升了產品質量。

由于氮氣在半導體組件的整個生產過程中被大量使用，大多數半導體設備都在現場保留一臺制氮機。因此，在努力滿足高需求的同時，保持低成本也是工廠運營過程中的重要一環。

通過了解客戶需求和對現場工況的掌握，科邁捷技術人員提出最為合理的解決方案，并選擇符合工廠需求的*優產品——TGF460熱式氣體質量。科邁捷技術人員將使用TGF460熱式氣體質量流量計安裝于制氮機后管道上，在提供精準測量數據的同時，數據通過物聯網上傳至客戶控制室電腦，客戶可隨時查看實時數據和歷史數據，方便、直觀、精準。