熱式質量流量計(Thermal Mass Flow Meter)是一種用于測量氣體質量流量的儀器，主要基于熱傳遞原理工作。它通過檢測氣體流動時的熱傳導變化來確定氣體的質量流量，適用于各種氣體流量的精確測量。熱式質量流量計具有以下幾個主要特點：
原理：熱式質量流量計通過加熱傳感器來測量流體的熱傳導特性。當氣體通過傳感器時，它會帶走一定的熱量，氣體流速越高，帶走的熱量越多，傳感器會檢測到這一變化。根據熱量損失與氣體流量的關系，流量計可以計算出氣體的質量流量。
適用性：熱式質量流量計非常適合于氣體流量的測量，尤其是在不受氣體溫度和壓力變化影響的情況下。常見的應用包括空氣、氮氣、氧氣、氬氣等工業氣體的流量測量。
熱式質量流量計的優勢：
無需壓力補償：熱式質量流量計直接測量氣體的質量流量，因此不受氣體溫度和壓力波動的影響，避免了需要額外壓力或溫度補償的復雜性。
響應時間快：熱式質量流量計響應速度較快，能夠迅速反映氣體流量的變化。
無可動部件：通常沒有機械部件，因此維護簡單，可靠性高。
適用于低流量范圍：熱式流量計適合測量較低流量的氣體，對于大流量的氣體測量不如其他類型的流量計。
總之，熱式質量流量計廣泛應用于氣體的流量監測和控制，尤其是在要求較高精度的應用場合，如化工、環境監測、實驗室研究等領域。
