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Instec HCC302溫控晶圓夾盤

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號HCC302

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地國外

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更新時間：2018-04-21 03:40:17瀏覽次數(shù)：465次

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上海恒商精密儀器有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：42條

所在地區(qū)：上海上海市

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產(chǎn)品簡介

Instec高低溫晶元夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置

詳細(xì)介紹

Instec高低溫晶圓夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置

HCC302

高低溫晶圓夾盤

功能特點

可編程精密控溫

超低的盤面溫度梯度

尺寸超薄，可集成進(jìn)探針臺

旋蓋設(shè)計，快速開合冷熱臺

視窗可拆卸，并且有吹干燥空氣的視窗除霜設(shè)計

可變樣品腔高度

配件配置

HCC302高低溫晶圓夾盤			任選1臺
mK2000溫度控制器有USB/IEEE等接口供選			√
制冷系統(tǒng)	液氮泵	詳詢上海恒商
	液氮罐	容量2L/10L/30L
水泵冷卻外殼防止過熱，并可加速自然冷卻
載物臺轉(zhuǎn)接器防止設(shè)備滑動、摔落
*注：”√”表示出廠配置中包含此項。詳詢sales@hsinstrument.com

技術(shù)參數(shù)

溫度范圍	-120℃ ～310 ℃ 可提升溫度上限低溫需用液氮
溫度分辨率	0.001℃(at 100℃)
溫度穩(wěn)定性	±0.05℃(at 100℃)
溫度均勻度	±0.1℃/cm可升級均勻性
zui小控溫速度	±0.1℃/小時
zui大控溫速度	+50,-50℃/分鐘(at 100℃)
傳感器/控制算法	100Ω鉑質(zhì)RTD PID控制可選線性直流電源
樣品腔面積	48 mm x 60 mm
樣品觀察范圍	26.5 mm(適用外蓋)
*注：1、表中制冷數(shù)據(jù)為使用LN2-P4液氮泵時的表現(xiàn)，液氮泵型號不同，制冷表現(xiàn)也會有差異，請悉知。 2、性能可變通，詳情請sales@hsinstrument.com

結(jié)構(gòu)圖

高低溫晶圓夾盤常用產(chǎn)品一覽表

型號	溫度范圍1	樣品區(qū)	三軸	方形	圓形	帕爾貼制冷2
HCC206R	-100℃ to 200℃	152 mm 直徑			Yes
HCC206RT	-100℃ to 200℃	152 mm直徑	Yes		Yes
HCC306R	-100℃ to 310℃	152 mm直徑			Yes
HCC306RT	-100℃ to 310℃	152 mm直徑	Yes		Yes
HCC208R	-80℃ to 200℃	203 mm直徑			Yes
HCC208RT	-80℃ to 200℃	203 mm直徑	Yes		Yes
HCC308R	-80℃ to 310℃	203 mm直徑			Yes
HCC308RT	-80℃ to 310℃	203 mm直徑	Yes		Yes
HCC20CR	-60℃ to 200℃	304 mm直徑			Yes
HCC20CRT	-60℃ to 200℃	304 mm直徑	Yes		Yes
HCC30CR	-60℃ to 310℃	304 mm直徑			Yes
HCC30CRT	-60℃ to 310℃	304 mm直徑	Yes		Yes
HCC214S	-120℃ to 200℃	101 mm x 101 mm		Yes
HCC314S	-120℃ to 310℃	101 mm x 101 mm		Yes
HCC216S	-100℃ to 200℃	152 mm x 152 mm		Yes
HCC316S	-100℃ to 310℃	152 mm x 152 mm		Yes
HCC218S	-80℃ to 200℃	203 mm x 203 mm		Yes
HCC318S	-80℃ to 310℃	203 mm x 203 mm		Yes
HCC602	-190℃ to 600℃	35 mm x 35 mm		Yes
HCC302	-120℃ to 310℃	48 mm x 60 mm		Yes
TC102S	-25℃ to 90℃	40 mm x 40 mm		Yes		Yes
TC104S	-25℃ to 90℃	100 mm x 100 mm		Yes		Yes