Instec高低溫晶圓夾盤——來自液晶院校美國科羅拉多大學的精密溫控裝置
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功能特點 | | 可編程精密控溫 | 超低的盤面溫度梯度 | 獨立的上盤面真空氣槽，用于固定多種尺寸晶圓 | 尺寸超薄，可集成進探針臺 | 支持頂桿孔 | 三軸（可選），用于防漏電 | 卡盤臺面不接地 | 下盤面真空吸氣槽（可選） | 適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓 |
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配件配置 | | 高低溫晶圓夾盤 | 任選1臺 | mK2000溫度控制器有USB/IEEE等接口供選 | √ | 制冷系統 | 液氮泵 | 詳詢上海恒商 | | 液氮罐 | 容量2L/10L/30L | | 水泵冷卻外殼防止過熱，并可加速自然冷卻 | | *注：”√”表示出廠配置中包含此項。詳詢sales@hsinstrument.com |
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技術參數 | | 溫度分辨率 | 0.001℃(at 100℃) | 溫度穩定性 | ±0.05℃(at 100℃) | 溫度均勻度 | ±0.1℃/cm可升級均勻性 | zui小控溫速度 | ±0.1℃/小時 | 傳感器/控制算法 | 100Ω鉑質RTD PID控制可選線性直流電源 | 表面光滑度 | 10 µm(常溫下) | *注：1、表中制冷數據為使用LN2-P4液氮泵時的表現，液氮泵型號不同，制冷表現也會有差異，請悉知。 2、性能可變通，詳情請sales@hsinstrument.com |
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型號規格 | | | | | | | | 型號(字母T表示三軸接口) | 盤面尺寸 | 適用樣品尺寸 | 溫度范圍 | zui大制熱速度 | HCC206R/HCC206RT | 150 mm | 12 mm～152 mm | -100℃～200℃ | +60℃/分鐘(at 100℃) | HCC306R/HCC306RT | -100℃～310℃ | HCC208R/HCC208RT | 200 mm | 40 mm～203 mm | -80℃～200℃ | +50℃/分鐘(at 100℃) | HCC308R/HCC308RT | -80℃ ～310℃ | HCC20CR/HCC20CRT | 300 mm | 95 mm～304 mm | -60℃～200℃ | +30℃/分鐘(at 100℃) | HCC30CR/HCC30CRT | -60℃～310℃ | *注：1、表中制冷數據為使用LN2-P4液氮泵時的表現，液氮泵型號不同，制冷表現也會有差異，請悉知。 2、夾盤上下表面的獨立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮 3、性能可變通，詳情請sales@hsinstrument.com |
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高低溫晶圓夾盤常用產品一覽表
型號 | 溫度范圍1 | 樣品區 | 三軸 | 方形 | 圓形 | 帕爾貼制冷2 |
HCC206R | -100℃ to 200℃ | 152 mm 直徑 | | | Yes | |
HCC206RT | -100℃ to 200℃ | 152 mm直徑 | Yes | | Yes | |
HCC306R | -100℃ to 310℃ | 152 mm直徑 | | | Yes | |
HCC306RT | -100℃ to 310℃ | 152 mm直徑 | Yes | | Yes | |
HCC208R | -80℃ to 200℃ | 203 mm直徑 | | | Yes | |
HCC208RT | -80℃ to 200℃ | 203 mm直徑 | Yes | | Yes | |
HCC308R | -80℃ to 310℃ | 203 mm直徑 | | | Yes | |
HCC308RT | -80℃ to 310℃ | 203 mm直徑 | Yes | | Yes | |
HCC20CR | -60℃ to 200℃ | 304 mm直徑 | | | Yes | |
HCC20CRT | -60℃ to 200℃ | 304 mm直徑 | Yes | | Yes | |
HCC30CR | -60℃ to 310℃ | 304 mm直徑 | | | Yes | |
HCC30CRT | -60℃ to 310℃ | 304 mm直徑 | Yes | | Yes | |
HCC214S | -120℃ to 200℃ | 101 mm x 101 mm | | Yes | | |
HCC314S | -120℃ to 310℃ | 101 mm x 101 mm | | Yes | | |
HCC216S | -100℃ to 200℃ | 152 mm x 152 mm | | Yes | | |
HCC316S | -100℃ to 310℃ | 152 mm x 152 mm | | Yes | | |
HCC218S | -80℃ to 200℃ | 203 mm x 203 mm | | Yes | | |
HCC318S | -80℃ to 310℃ | 203 mm x 203 mm | | Yes | | |
HCC602 | -190℃ to 600℃ | 35 mm x 35 mm | | Yes | | |
HCC302 | -120℃ to 310℃ | 48 mm x 60 mm | | Yes | | |
TC102S | -25℃ to 90℃ | 40 mm x 40 mm | | Yes | | Yes |
TC104S | -25℃ to 90℃ | 100 mm x 100 mm | | Yes | | Yes |
1部分型號可擴大溫度范圍，請上海恒商以了解。
2帕爾貼制冷：冷熱臺使用帕爾貼冷卻，無需附加任何制冷配件即可制造低溫環境。（例如LN2-SYS液氮冷卻裝置、WPC3A/WPC3U液冷裝置）
欲了解更多型號詳請，請咨詢上海恒商
另：Instec英斯特科的主要產品包括：
高精度溫控裝置
冷熱臺
高低溫晶圓夾盤
冷熱平板
液晶參數測試儀
液晶測試空盒
液晶材料
欲咨詢產品請本公司上海恒商精密儀器有限公司
本公司為美國Instec中國區總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國區*代理，不經過中間商直接與原廠接觸，因此能提供*惠的價格。
