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當前位置:上海乾拓貿易有限公司>>日本SUNX神視>>SUNX傳感器>> M-DW1PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用

PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號M-DW1

品       牌NORGREN/諾冠

廠商性質經銷商

所  在  地上海市

更新時間:2025-02-25 09:47:36瀏覽次數:950次

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王亞波

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產地 進口 加工定制
PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1
技術參數
測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1

技術參數

測量距離 45mm

檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)

可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

環境性能 保護構造  IP20(IEC)

        使用環境溫度 0?+55℃(注意不可結露)、存儲時:−10?+70℃

        使用環境濕度 35?85%RH、存儲時: 35?85%RH

        使用環境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度1,500lx以下

        耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間

        緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表

        耐振動 頻率10?500Hz 雙振幅3mm X,Y和Z方向各2小時

        耐沖擊 耐久98m/s²(約10G) XYZ方向各5回

適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

靈敏度切換輸入 信號條件

                ?輸入OFF:斷開或4?8V

                ?輸入ON :0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設定 背面教導:按本體靈敏度設定按鈕運行

                檢測靈敏度切換:本體開關2bit、4或外部輸入的2選擇式

投光元件 LED(調制式)

材質 外殼:ABS及SUS301、透鏡: 丙烯

輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON

短路保護 裝備(自動復位)

反應時間          500μs以下

工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)

穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)

定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式

投光停止輸入 信號條件

                ?投光停止:斷開或4?8V

                ?投光:0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

(注2):檢測8英寸以下的晶圓時,可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態而影響檢測。
(注3):對于經研磨后厚度變薄的晶圓,如果其端面呈刀刃狀,可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(注4):晶圓旋轉時,定位邊的大跳動角度約為±20°。
(注5):斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時,對于避開定位邊的檢測位置,晶圓間距變得更窄,檢測信號無法分解,變為連續的寬幅信號。

PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1

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