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講解數字式四探針測試儀的原理

時間:2016-9-7閱讀:806
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數字式四探針測試儀 型號: ST2253

概述 

      ST2253型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準。
 

    儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成。

    主機主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成,USB通訊接口。儀器主機所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤和數碼開關輸入;具有零位、滿度自校功能;測試功能可自動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在PC機上操作完成,也可脫PC機由四探針儀器面板上獨立操作完成。測試結果數據由主機數碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印!
 

    探頭選配:根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配探頭,也可測試電池片等箔上涂層電阻率方阻。
 

    測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺,也可選配SZT-D型測試臺以測試半導體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。

      詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》點擊進入

    儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。

    儀器于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。

三、基本技術參數
 

3.1  測量范圍

     電  阻:1×10-4~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-5~1×102 Ω

    電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm

    方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□

3.2  材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

     直    徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限

    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.

    長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

    測量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數字電壓表

    (1)量程: 20.00mV~2000mV

   (2)誤差:±0.1%讀數±2 字

3.4 數控恒流源

    (1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A

   (2)誤差:±0.1%讀數±2 字

3.5 四探針探頭(選配其一或加配全部)

    (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調

   (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調

3.6. 電源

    輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗:<20W

3.7.外形尺寸

    主   機  220mm(長)×245 mm(寬)×100mm(高)

   凈   重:≤2.5kg

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