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北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第13年

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講解數(shù)字式四探針測(cè)試儀的原理

時(shí)間:2016-9-7閱讀:808
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數(shù)字式四探針測(cè)試儀 型號(hào): ST2253

概述 

      ST2253型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量?jī)x器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā凡⒖济绹?guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
 

    儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)以及PC軟件等部分組成。

    主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,USB通訊接口。儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開(kāi)關(guān)輸入;具有零位、滿度自校功能;測(cè)試功能可自動(dòng)/手動(dòng)方式;儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作完成,也可脫P(yáng)C機(jī)由四探針儀器面板上獨(dú)立操作完成。測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示,也可連機(jī)由軟件界面同步顯示、分析、保存和打印!
 

    探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測(cè)試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭,也可測(cè)試電池片等箔上涂層電阻率方阻。
 

    測(cè)試臺(tái)選配:一般四探針?lè)y(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針?lè)y(cè)試電阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái),也可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材料電阻率。

      詳見(jiàn)《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》點(diǎn)擊進(jìn)入

    儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測(cè)量簡(jiǎn)便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。

    儀器于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

三、基本技術(shù)參數(shù)
 

3.1  測(cè)量范圍

     電  阻:1×10-4~2×105 Ω   ,分辨率:1×10-5~1×102 Ω

    電阻率:1×10-4~2×105 Ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 Ω-cm

    方  阻:5×10-4~2×105 Ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 Ω/□

3.2  材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)

     直    徑:SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限

    SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm,手持方式不限.

    長(zhǎng)(高)度:測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

    測(cè)量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表

    (1)量程: 20.00mV~2000mV

   (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字

3.4 數(shù)控恒流源

    (1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A

   (2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字

3.5 四探針探頭(選配其一或加配全部)

    (1)碳化鎢探針:Φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調(diào)

   (2)薄膜方阻探針:Φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調(diào)

3.6. 電源

    輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗:<20W

3.7.外形尺寸

    主   機(jī)  220mm(長(zhǎng))×245 mm(寬)×100mm(高)

   凈   重:≤2.5kg

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