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固體材料中的不均勻性如裂紋、孔隙、剝層、分離區和雜質等其對電磁波是突出地反射或散射的。只要在某處形成這類缺陷，則兩種物質之間或多或少地存在一個明顯的邊界，邊界兩邊的物質電磁波的速度明顯相異。在這些與所使用電磁輻射的波長相比一般很薄的邊界上，電磁波受到反射和折射或散射。這些反射波或散射波只有當缺陷的zui小尺寸大于受檢材料內入射波約二分之一波長時才會明顯的振幅。
多孔性和有缺陷的區域如偏差輕微的合成物并不引起強烈的反射和散射，但它們對電磁波的衰減和速度有影響。當存在吸收時，滲透波相對于距離作指數衰減。
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