A.用途：
　　EF100-2302型表面輪廓測量儀是在T2000基礎上研制的新升級產(chǎn)品，其包括的應用范圍和測量性能達到了世界同類儀器的*水平。
　　本儀器包括粗糙度測量系統(tǒng)、直接輪廓測量系統(tǒng)、波紋度測量系統(tǒng)和形狀測量系統(tǒng)。其中粗糙度、波紋度、直接輪廓測量系統(tǒng)的參數(shù)和數(shù)據(jù)處理的方法，都是嚴格遵照有關國家標準和ISO標準制訂和檢驗的。
　　本儀器WINDOWS98工作平臺，DELPHI編程環(huán)境，數(shù)據(jù)和圖像處理功能得到了很大的改善。
　　在形狀測量中，由于機械系統(tǒng)的精度高，數(shù)學處理方法合理，編程環(huán)境*，其精度也有很好的保證。
　　本儀器特別適合對工件的表面形貌進行微觀和宏觀的分析和檢驗，儀器精度達到DIN4772-1級。
　　本儀器還可以根據(jù)用戶的需要提供三維形貌分析系統(tǒng)，此系統(tǒng)特別適用于復雜表面形貌的分析。
B.粗糙度測量系統(tǒng)的測量性能：
　　測量范圍.......................16μm/160μm
　　zui高分辨率..............................0.001μm
　　取樣長度L...................0.08,0.25,0.8,2.5,8
　　評定長度................1×L,2×L,3×L,4×L,5×L
　　濾波器............................RC,PC,二乘,高斯
　　評定參數(shù)..........Ra,Rz,Ry,Rt,Rtm,Rp,Rv,Rpm,Rvm,
　　Rq,△q,λq,△a,Sm,S,D,Sk,Rku,R3y,R3z,NR1,NR2,tp
　　圖像分析功能.......C-N（曲線－NR）,A-B（幅度分布－支承率）
　　C-B（曲線－支承率）,B（支承率－圖表）
　　圖像放大倍數(shù).........VV100、200、500、1000、2000、5000、
　　　　　　　　　　　　　 10000、20000、50000、10萬、20萬
　　......................VH2、5、10、20、50、100、200、500、
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1000、2000、5000
C.直接輪廓測量系統(tǒng)的評定特性：
　　測量范圍.......................16μm/160μm/1600μm
　　評定參數(shù)....Pp、Pv、Pz、Pt、Pa、Pq Psk、Pku、P△q、 Psm
　　圖像分析功能...C-B（曲線－支承率）,C-N（曲線－NR）
D.波紋度測量系統(tǒng)的評定特性：
　　測量范圍.......................16μm/160μm/1600μm
　　取樣長度Lτ...............2.5、8、25
　　評定長度..............2Lτ、3Lτ、4Lτ、5Lτ
　　評定參數(shù)........Wa、Wc、Wp、Wv、Wt、Wq、WSm
　　圖像分析功能................C-N（曲線－NR）
　　濾波器...............................高斯
E.形狀測量的主要技術性能：
　　測量范圍................................4mm/20mm
　　垂直位移分辨率............................0.25μm
　　測量參數(shù).....水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等9個參數(shù)
　　圖形放大倍...Vv、2、5、10、20、50、100、200、500、1000、2000
　　VH、2、5、10、20、50、100、200、500、1000
　　測針zui大上升/下降角.............................77°/88°
　　水平分辨率..........................................1μm
F.驅(qū)動箱
　　滑行速度......0.1、0.2、0.5、0.8、1（mm/秒）
　　精密基準導軌的直線性.............1μm/40mm
　　zui大測量長度.........................100mm
G.傳感器：
　　小行程傳感器......標準傳感器（TKE100）、圓弧傳感器（TKK50）
　　直線傳感器（TKLT300）、齒面?zhèn)鞲衅鳎═KZ100）
　　針尖半徑............................................5μm
　　測針測力.....................................0.8mN
　　外徑..........................................11mm
　　大行程傳感器................................PM2000
　　針尖半徑.....................................25μm
　　測量力調(diào)整范圍..........................0.02-0.06N
H.立柱和工作底臺：
　　立柱結構......滾動絲杠升降系統(tǒng)，快慢速機動升降
　　立柱上升高度...........................480mm
　　工作底臺結構...450×600mm、花崗巖平臺、兩個T型槽
I.其他附件：
　　可調(diào)夾持器（PHZ）、剛性夾持器（FHZ）、安裝板（APS）、小型萬向工作臺、小型V型臺、電箱（D2302）、小平口鉗、計算機、激光打印機