在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。
亮點
- 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
- 測量穩(wěn)定，重復性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數(shù)字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設(shè)計緊湊小巧
- 顯示/報警單元可選
技術(shù)指標 |
| 傳感器 | | 傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 | | 量程 | -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) | | 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值) | | 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C | | 壓力 | 低 10-9 torr; 大 24 MPa | | 氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min | | 電氣 | | 電源 | 通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 大電流 25 mA | | 輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) | | 輸出出錯狀態(tài) | 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 | | 機械性能 | | 傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 | |
| 氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 | | 安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 | | 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm | | 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g | | 包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 |
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