電子級HF(EL-HF)超純產品分析簡介

一、概述

        高HF英文名 hydrofluoric acid，分子式 HF，分子量 20.01。為無色透明液體，相對密度 1.15～1.18，沸點 112.2℃，在空氣中發煙，有刺激性氣味，劇毒。能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發生反應，生成各種鹽類。腐蝕性*，能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態的四氟化硅。易溶于水、醇，難溶于其他有機溶劑。

        高HF為強酸性清洗、腐蝕劑，可與冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用，主要應用于集成電路（IC）和超大規模集成電路（VLSI）芯片的清洗和腐蝕，是微電子行業制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一，還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。目前，在國內基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業，其它方面用量較少。

二、工藝簡述

        目前國內外制備高HF的常用提純技術有精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、氣體吸收等技術，這些提純技術各有特性，各有所長。有的提純技術如亞沸蒸餾技術只能用于制備量少的產品，而有的提純技術如氣體吸收技術可以用于大規模的生產。因此，選擇工藝技術路線時應視實際情況而定。另外，由于HF具有強腐蝕性，采用蒸餾工藝時所使用的蒸餾設備一般需用鉑、金、銀等貴金屬或聚四氟乙烯等抗腐蝕性能力較強的材料來制造。

        高HF生產裝置流程布置要以垂直流向為主，原料無水HF和高純水在上層，HF的提純在中層，過濾、包裝及儲存在底層。因為原料（無水HF和高純水）與中間產物可以依靠重力自上而下流動，避免用泵輸送，節省能耗，降低生產成本。下面介紹一種精餾、吸收相結合的生產高HF的生產工藝。

        將無水HF經過化學預處理后通過給料泵進入高位槽，再通過流量計控制進入精餾塔，通過精餾操作得到精制后的氟化氫氣體，并將其送入吸收塔，精餾塔殘液定期排放并制成工業級HF。在吸收塔中，通過加入經過計量后的高純水，使精餾后的氟化氫氣形成高HF，并且可采用控制噴淋密度、氣液比等方法使高HF進一步純化，得到粗產品。隨后再經過超凈過濾工序，使產品進一步混合和得到過濾，保證產品的顆粒合格。凈化室內進行包裝得到終產品——高HF

三、高純水

        高純水是生產高HF中*的原料，也是包裝容器的清洗劑，其純度將直接影響到高HF的產品質量。高純水的主要控制指標是電阻率和固體顆粒，其它輔助指標有可氧化的總碳量(TOC)、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前，高純水的生產工藝較為成熟，較常見是先通過離子交換柱和微過濾器，得到普通純水，然后再采用反滲透、電滲析等各類膜技術進一步處理，配合超微過濾便可得到高純水。

四、包裝

        高HF具有強腐蝕性，而且由于在IC制作行業使用質量要求較高，所以對包裝技術的要求較為嚴格。首先，包裝容器必須具有防腐蝕性，其次要防止產品出現二次污染。目前廣泛使用的材料是高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)。

五、環境

        廠房、分析室、倉庫等環境是封閉的，而且要達到一定的潔凈度，一般為10000級（隨HF產品等級而提高）；還要保持一定的溫度（22.2±2.5℃，具體操作部位控制在22.2±0.11℃）、濕度(40%左右，不得低于30%，不得高于50%)。

六、在線分析儀

六、在線濃度分析儀
E-Scan系列電子級HF在線濃度儀采用臨界角檢測原理，檢測不受物料的顏色，渾濁度，氣泡，固體顆粒等雜質的影響、具備高精度的自動溫度補償功能。采用優秀的分體式體式，全屏蔽抗干擾設計，光電信號直接轉換處理。摒棄一體式不耐振動和高溫的影響的缺點，保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內置光纖光路傳導系統，擁有優秀的抗震性能和高穩定性、內置溫度傳感器和干燥劑有效監測糖度儀的運行狀態。

E-Scan系列電子級HF在線濃度儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上，進行濃度監測和控制，可以直接顯示質量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位，現場顯示并可以模擬信號（RS232)遠傳至電腦進行即時數據存儲、打印、追溯等功能；通過4-20mA信號遠傳至PLC/DCS /變頻器進行監控或控制。

E-Scan系列電子級HF在線濃度儀擁有以下特征：
PTFE材質的傳感器使其滿足化工、半導體行業的要求并且耐溫高達150℃；
免維護、無耗材、無漂移、自診斷功能，智能報警信號輸出功能；
防護等級：NEMA4X(IP67）；
自動溫度補償（軟件擁有豐富的產品線性數據庫和溫度補償數據庫）；
多組4-20mA模擬信號及數字信號輸出（隔離，非隔離可選）；
3648高分辨率的CCD；
多種報警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）；
可循環的干燥劑，無耗材，免維護；
光源為589 nm LED燈，壽命長達100000小時；
安裝適配器標準:PTFE,Teflon；
高精度，高品質“美國制造”