電子級鹽酸

英文名：Hydrochloric Acid，分子式HCl，相對分子質量36.46。鹽酸是氫氯酸的俗稱，是氯化氫（HCl）氣體的水溶液，為無色透明的一元強酸。鹽酸為不同濃度的氯化氫水溶液，呈透明無色或黃色，有刺激性氣味和強腐蝕性，易溶于水、乙醇和油等。濃鹽酸為含38%氯化氫的水溶液，相對密度1.19，熔點-112℃，沸點-83.7℃。3.6%的鹽酸，pH值為0.1。鹽酸具有*的揮發性，因此打開盛有濃鹽酸的容器后能在其上方看到白霧，實際為氯化氫揮發后與空氣中的水蒸氣結合產生的鹽酸小液滴。

在集成電路制作過程中，基片表面的金屬雜質可能會擴散進入基片，導致器件的性能下降和成品率的降低。因此在沉積金屬前，確保基片表面沒有金屬雜質是極為重要的。因為鹽酸能和大多數金屬反應形成水溶性的鹽，然后被水清洗去除，所以使用高純鹽酸進行清洗可有效降低金屬雜質。除此之外，在太陽能電池生產過程中，單晶硅和多晶硅也都會采用鹽酸和HF的混合液進行清洗。

EL： 單項金屬雜質含量≤100ppb,顆粒（≥0.5um）≤100EA/ml
MOS：單項金屬雜質含量≤50ppb,顆粒（≥0.5um）≤50EA/ml
UP： 單項金屬雜質含量≤10ppb,顆粒（≥0.5um）≤25EA/ml