熱式氣體質(zhì)量流量計誕生在美國的西海岸，剛開始是兩個公司，后來分裂成三個獨(dú)立的公司。其中一個公司生產(chǎn)流體元件，通過石油補(bǔ)丁中發(fā)明熱式氣體流量開關(guān)交換機(jī)檢測油的油井管的運(yùn)動，但直到1981年，他們實(shí)際上也沒有演變成實(shí)際的流量計。
1968年至20世紀(jì)70年代初，在奧林和庫爾茲做研究使用風(fēng)速計時，他們更感興趣的是開發(fā)測量產(chǎn)品適用于工業(yè)環(huán)境。這將需要更堅固耐用的設(shè)備比一個風(fēng)速計。在TSI，他們開發(fā)的研究應(yīng)用在氣體動力學(xué)，湍流和空氣流動的和熱膜風(fēng)速計。這些工具是基于熱擴(kuò)散技術(shù)和傳感器組成的加熱鎢絲或鉑薄膜沉積在石英棒。這些傳感器的直徑小了流體力學(xué)研究需要的快速響應(yīng)時間，但在一般工業(yè)應(yīng)用，他們還是太脆弱。于是他們建議TSI開發(fā)工業(yè)產(chǎn)品，，但TSI是不感興趣。因此，奧林和庫爾茲決定開辦自己的公司，于1973年在明尼蘇達(dá)州納入Sierra公司。1975年，他們搬到加州的公司，包裝業(yè)務(wù)分為兩卡車，駕駛它橫跨大陸分水嶺在蒙特利設(shè)立店鋪。
1977年杰里·庫爾茲決定成為獨(dú)立的公司，并形成庫爾茲儀器。塞拉利昂保持空氣采樣產(chǎn)品，庫爾茲儀器保持熱流量計。然而，塞拉利昂流量計在1983年回歸市場。
在20世紀(jì)80年代初，塞拉利昂，庫爾茲和流體元件是制造熱式氣體質(zhì)量流量計的公司。然而，隨著時間的推移，更多的熱式氣體質(zhì)量流量計制造商開始誕生。這些包括的埃爾德里奇，福克斯熱儀器，賢者測光公司。這些公司主要是塞拉利昂和庫爾茲的分支。終，一些較大的流量計企業(yè)進(jìn)入市場，其中包括恩德斯豪斯和ABB、液位和流量開關(guān)制造商Magnetrol公司，也進(jìn)入了熱式氣體質(zhì)量流量計市場。
在20世紀(jì)60年代，美國首先為宇航業(yè)所需質(zhì)量控制開發(fā)出熱式氣體流量計的正式產(chǎn)品，氣候應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的設(shè)備制造上，得到了很大的發(fā)展，隨后又?jǐn)U展到其他的工業(yè)領(lǐng)域，近年來熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)日趨成熟其應(yīng)用面不斷擴(kuò)展。世界工業(yè)比較發(fā)達(dá)的國家已有眾多制造企業(yè)所生產(chǎn)的產(chǎn)品投放市場，20世紀(jì)90年代初中期，世界范圍的熱式氣體質(zhì)量流量計銷售額已占流量儀表行業(yè)的3%-7%，年銷售1.74-4.6萬臺。
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